基于計算機視覺的引線鍵合機定位平臺的運動學標定.pdf

1、隨著半導體制造技術不斷向微細化、高速、高密度方向發(fā)展，開發(fā)高精度、高效率、高可靠性的引線鍵合機是對封裝設備制造業(yè)刻不容緩的要求。限制引線鍵合機定位在高速加工過程中正常工作的一個主要因素是其定位平臺的低精度，而影響其精度的一個重要因素是由于裝配過程中所引起的各種幾何誤差。計算機視覺技術近年來快速發(fā)展，研究成果豐碩，高性能的相機成為一種新的測量工具解決了諸多工業(yè)領域精確測量的問題。本文提出運用運動學標定的原理，基于計算機視覺技術的測量方法，

2、通過辨識模型的幾何參數(shù)補償由其引起的誤差，從而提高引線鍵合機定位平臺的精度。本文分析了定位平臺的主要誤差源；利用計算機視覺技術進行了相機的標定，設計實驗分析評估了其精度，并且利用該相機完成測量任務；針對此引線鍵合機設計了標定實驗分步對該引線鍵合機定位平臺的相關參數(shù)進行辨識；利用辨識結果通過修正系統(tǒng)輸入對系統(tǒng)誤差進行了補償，設計實驗并驗證了通過誤差補償可以提高系統(tǒng)的精度，從而說明了基于計算機視覺的運動學標定技術應用于該引線鍵合機的可行性和