平板電極間射頻氣體放電均勻性的研究.pdf

1、近年來(lái)，射頻激勵(lì)平板波導(dǎo)氣體激光器因輸出功率高、光束質(zhì)量好等優(yōu)良特性，得到了不斷的發(fā)展。本文主要討論了如何利用一種全新的數(shù)值分析方法——有限單元法，來(lái)模擬和仿真該種結(jié)構(gòu)的氣體激光器平板放電電極間的電場(chǎng)二維分布。
　　 文章首先對(duì)射頻激勵(lì)氣體激光器在國(guó)內(nèi)外的發(fā)展情況做了簡(jiǎn)要介紹，并對(duì)本課題的來(lái)源、目的及意義做了闡述。
　　 本文從射頻氣體放電的基本理論出發(fā)，討論了射頻氣體放電的放電特征。之后從電磁場(chǎng)求解中的基本方程麥克斯韋

2、方程出發(fā)，介紹了電磁場(chǎng)求解中的基本問(wèn)題和兩種數(shù)值解法——時(shí)域有限差分法和有限積分法，并利用有限積分法對(duì)射頻平板電極間電場(chǎng)分布問(wèn)題進(jìn)行了探討。
　　 文章結(jié)合有限元法在解決平板電極間一維靜電場(chǎng)問(wèn)題中的應(yīng)用，介紹了有限元法的基礎(chǔ)理論和原理。之后利用有限元軟件ANSYS的強(qiáng)大仿真功能，通過(guò)APDL語(yǔ)言編程，實(shí)現(xiàn)了射頻激勵(lì)和電感元件在大面積、窄放電間距平板電極極板上的加載，得到了激勵(lì)在不同頻率下極間電場(chǎng)的二維分布情況。并深入研究了激勵(lì)頻