微納米表面形貌測(cè)量中探針形狀重建的分析.pdf

1、表面三維形貌檢測(cè)是獲取零件表面形態(tài)特征的一種重要手段，也是記錄、比較和復(fù)制物體形態(tài)特征的基礎(chǔ)，它在機(jī)器視覺、自動(dòng)加工、工業(yè)檢測(cè)、產(chǎn)品質(zhì)量控制和生物等領(lǐng)域具有重要意義和廣闊的應(yīng)用前景。但在接觸式測(cè)量與掃描探針顯微鏡中存在一個(gè)問(wèn)題，就是所獲得的掃描圖像是樣品與觸針/探針共同作用的結(jié)果，即是被測(cè)樣品實(shí)際形貌的近似描述。所以觸針/探針重建是減小探針膨脹效應(yīng)的要求，利用估計(jì)的探針形貌進(jìn)行表面重建能夠得到更準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。 本文介紹了微米尺

2、度下觸針重建的方法—刮胡刀片法，以及納米尺度下探針重建的方法—盲重建法；通過(guò)模擬探針掃描成像，分析了探針形狀對(duì)測(cè)量樣品結(jié)果的影響；通過(guò)對(duì)仿真的成像結(jié)果采用盲重建法得到的探針結(jié)果，分析了盲重建法的優(yōu)缺點(diǎn)；提出了一種探針重建方法—STRM法(StylusTipReconstructionMethod)，并分別與微米尺度下國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO5436-1(GB/T19067.1)建議的刮胡刀片法和納米尺度下美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院所提出的盲重建法進(jìn)