微結(jié)構(gòu)平面旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)角度測(cè)量的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、天津大學(xué)碩士學(xué)位論文微結(jié)構(gòu)平面旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)角度測(cè)量的研究姓名：李曉俊申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：測(cè)試計(jì)量技術(shù)及儀器指導(dǎo)教師：胡曉東20070601ABSTRACTMicro—ElectroMechanicalSystem(MEMS)developsrapidlyandstepsintoindustryinrecentyearsInMEMSindustrializationcourse，manyresearchdepartmentsattachm

2、uchmoreimportancetoMEMStestingtechniqueMEMSdynamictestingtechniquehasobviouslysignificantplaceinMEMSR&DandindustrializationTheMEMStestingtechniqueofestimatingtherelativetranslationoftwoimageshasfulldevelopedatpresent，whi

3、letheproblemofestimatingtherelativerotation，onthecontraryhasreceivedfarlessattentionTherearesomeways，whichhavelOWresolutionWedomuchresearchaboutthemethodbasedonphasecorrelationandRadontransform，themethodbasedOiledgedetec

4、tionandHoughtransformandthemethodbasedontheinvariabilityofcenterofmassofafixedregion，andultimatelygettheconclusionthatthemethodbasedonphasecorrelationandRadontransformisnotsuitableforanglemeasurementofMEMS，whileothertwom

5、ethodarerealizethemeasurementofrelativerotationwithhighresolutionThemaincontentsofthispapercanbesummarizedasfollows：1BystudyingonphasecorrelationandRadontransform，weproposeamethodtoobtaintheangleofrotationbyresearchingap

6、eakofphasecorrelationfunctionMEMSimagesaretransformedfromCartesiancoordinate(space(x，y))topolarcoordinate(space(p，0))viaRadontransformThustherotationfortheimageinspace(x，y)isconvertedtothetranslationinthespace(p，0)Finall

7、ytheparametersoftranslationareobtainedusingthetraditional2Dphasecorrelation2TakedeepresearchofanglemeasurementmethodbasedonHoughtransformandedgedetectionandgetconclusionwhetherthismethodissuitableforMEMStestingEdgeswillb

8、eextractedbyusingedgedetectorMeanwhile，theedgeswillbepitchedinsubpixelbyinterpolationHoughtransformcanaccuratelygettheparametersoftheedges，anddisplayfeaturepointsobviouslyBycomparereferenceimageandinputimage，therotateang

9、lewillbeobmined3AnimprovedrotationmeasurementmethodbasedontheinvariabilityofcenterofmassofafLxedregionisputforwardforbettercalculationprecisionGiventhespecialstructuresofMEMSwhichareleftbehindfabrication，wegetseveralregi

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