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文檔簡介
1、基于MEMS技術的微機械加速度計,與傳統(tǒng)的加速度計相比,具有許多獨特的優(yōu)勢和廣闊的應用前景。本文以三軸力平衡閉環(huán)微加速度計為研究對象,對其結(jié)構和加工工藝進行研究和設計,具體包括以下幾方面: 1.對微加速度計的基礎理論和檢測原理進行了系統(tǒng)的研究。 2.根據(jù)設計任務和性能指標要求,確定微加速度計的總體設計方案,并建立了參數(shù)化的結(jié)構模型。在檢測原理上,微加速度計采用全差分電容檢測和靜電力閉環(huán)系統(tǒng),叉指電容與平板電容相結(jié)合,共同
2、實現(xiàn)對三個正交檢測軸向線加速度的檢測。在結(jié)構上,加速度計采用玻璃-硅-玻璃“三明治”式總體結(jié)構,利用單一檢測質(zhì)量實現(xiàn)單芯片三軸集成。采用動指和靜指不等厚度的叉指電容結(jié)構,有利于改善XOY平面內(nèi)敏感軸的靈敏度。在檢測質(zhì)量上刻蝕阻尼孔陣列,能夠改善加速度計系統(tǒng)的動態(tài)性能。 3.根據(jù)力平衡式三軸微加速度計結(jié)構模型,對靈敏度、分辨率、工作量程等重要的加速度計特性進行分析和計算,并進一步探討了加速度計三軸靈敏度一致性優(yōu)化條件、敏感軸交叉耦
3、合的優(yōu)化條件以及加速度計系統(tǒng)的穩(wěn)定性條件。 4.有限元分析。利用ANSYS軟件對微加速度計結(jié)構進行模態(tài)分析、靜力分析、熱分析以及靜電-結(jié)構耦合分析,根據(jù)有限元分析結(jié)果,對結(jié)構參數(shù)進行調(diào)整,實現(xiàn)優(yōu)化設計。 5.加工工藝的研究與設計。結(jié)合加速度計結(jié)構特點和性能指標要求,采用體微細加工技術,制定相應的工藝流程。整個工藝流程主要包括硅片工藝、玻璃工藝、組合工藝以及深度刻蝕與結(jié)構釋放工藝四部分。采用ICP深刻蝕技術可以獲得大厚度的
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