ZnO-SiO2-Si基聲表面波生物傳感器基礎(chǔ)問題研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、無線無源聲表面波生物傳感器具有精度高、集成度高、應(yīng)用范圍廣、適于大批量生產(chǎn)等優(yōu)點,一直以來是生物傳感器領(lǐng)域的重要內(nèi)容。論文討論了聲表面波生物傳感器的基本原理及其主要性能,簡述了其生物固化膜的制備方法,并完成了聲表面波換能器的基本設(shè)計。
　　首先通過射頻磁控濺射法制備了ZnO/SiO2/Si基片。控制濺射時長制得的基片氧化鋅薄膜厚度分別為200納米至2000納米之間。由FSEM的尺寸測量對這些樣品生長速率進行了定標(biāo),計算得到氧化鋅薄

2、膜的生長速率為每分鐘10納米。
　　對制備所得的ZnO/SiO2/Si基片進行性能檢測。將ZnO厚度為300納米和600納米的樣品進行XRD和SEM檢測。通過XRD的測量可以觀察到各個樣品的c軸取向性并可以計算出樣品的氧化鋅晶粒尺寸及其他晶體參數(shù)。通過FSEM測量可以觀測到各個樣品氧化鋅薄膜的平整性、結(jié)晶質(zhì)量等性質(zhì)。本文著重討論了退火溫度對氧化鋅薄膜的c軸取向性、結(jié)晶尺寸和晶粒均勻度等方面的性能,并通過對比可以得到結(jié)論:退火溫度對

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