薄膜太陽(yáng)能電池窗口材料SnO-,2-的PECVD制備及其性能研究.pdf

1、二氧化錫(SnO2)是一種寬帶隙的金屬氧化物，其薄膜具有可見(jiàn)光透性強(qiáng)、電阻低、化學(xué)性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，是一種合適的薄膜太陽(yáng)能電池窗口材料。本論文采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)法在玻璃襯底上制備了可見(jiàn)光透過(guò)率高達(dá)80%以上、方塊電阻低至81Ω/□、對(duì)襯底附著力強(qiáng)的SnO2薄膜。
　　 本論文包括以下四個(gè)部分：
　　 (1)簡(jiǎn)單介紹了太陽(yáng)能以及太陽(yáng)能電池的一些基本知識(shí)，重點(diǎn)介紹了薄膜太陽(yáng)能電池的特點(diǎn)、結(jié)構(gòu)以及薄膜太陽(yáng)

2、能電池窗口材料的選擇問(wèn)題；闡明課題背景和主要研究?jī)?nèi)容。
　　 (2)綜合介紹了各種制備SnO2 薄膜的方法及優(yōu)缺點(diǎn)，比較選擇出等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)作為制備SnO2 薄膜的最佳方案；設(shè)計(jì)了PECVD 實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，并對(duì)平臺(tái)各個(gè)部分進(jìn)行了介紹。
　　 (3)以氯化亞錫(SnCl2)和O2為原料，利用PECVD 技術(shù)在玻璃襯底上制備了SnO2薄膜，并利用XRD、SEM、EDAX、紫外分光光度計(jì)、雙電測(cè)四探針測(cè)試

3、儀、超聲波等檢測(cè)儀器對(duì)薄膜的基本性能進(jìn)行了測(cè)試和分析；探討了PECVD法沉積SnO2 薄膜的反應(yīng)機(jī)理。
　　 (4)探討了PECVD 工藝參數(shù)對(duì)SnO2 薄膜晶體結(jié)構(gòu)、表面形貌、光電特性的影響。
　　 通過(guò)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析得到在合適的工作條件下，制備出的SnO2 薄膜均勻，光電性能較好。
　　 本課題制備SnO2 薄膜主要著眼于其在薄膜太陽(yáng)能電池上的應(yīng)用。采用PECVD法制備SnO2 薄膜是一種有益的嘗試，所獲結(jié)果