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1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文0.18微米邏輯集成電路硅和多晶硅蝕刻后缺陷檢測的研究碩士研究生:黃沙學(xué)號:1102102085導(dǎo)師:周健軍教授副導(dǎo)師:張玨申請學(xué)位:工程碩士學(xué)科:集成電路工程所在單位:微電子學(xué)院答辯日期:2014年11月授予學(xué)位單位:上海交通大學(xué)上海交通大學(xué)上海交通大學(xué)學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明:所呈交的學(xué)位論文《0.18微米邏輯集成電路硅和多晶硅蝕刻后缺陷檢測的研究》,是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下,獨(dú)立進(jìn)行研究
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