光學畢業(yè)論文----飛秒微加工技術的應用與研究

1、<p>　　分類號 </p><p>　　編 號 </p><p><b>　　畢業(yè)論文</b></p><p>　　題 目 飛秒微加工技術的應用與研究 </p><p>　　飛秒微加工技術的應用與研究</p><p>　　摘要：本論文介

2、紹了飛秒微加工技術在國內外的發(fā)展狀況，分析了飛秒微加工的物理機制、方法及優(yōu)勢，重點研究了飛秒微加工技術在信息存儲、微電子加工及生物醫(yī)學領域的應用，并展望了其未來的發(fā)展趨勢。</p><p>　　關鍵詞：飛秒激光器；飛秒微加工；微加工機制；微加工應用 </p><p>　　Femtosecond Micromachining Technology and Its Application<

3、;/p><p>　　Abstract: In this paper the author introduced the present status of femtosecond micromachining and analyzed its physical mechanism, machining methods, and advantages. Especially the author studied the

4、 applications in information storage, micro-electronics manufacture, and biomedicine field. Finally the author looked forward to the future of the technology.</p><p>　　Keywords: femtosecond laser, femtosecon

5、d micromachining, micromachining mechanism, micromachining application. </p><p><b>　　目錄</b></p><p><b>　　1、引言1</b></p><p>　　2、飛秒微加工特點2</p><p>　

6、　3、微加工的物理機制研究4</p><p>　　4、飛秒微加工方法及結果分析5</p><p>　　4.1飛秒微加工方法5</p><p>　　4.2飛秒激光微處理的結果6</p><p>　　5、飛秒微加工應用研究7</p><p>　　5.1在信息技術領域應用7</p><p>

7、;　　5.2在微電子制造領域應用8</p><p>　　5.3在生物醫(yī)學領域應用9</p><p>　　6、總結與展望10</p><p><b>　　參考文獻11</b></p><p>　　飛秒微加工技術的應用與研究</p><p><b>　　1、引言</b>&

8、lt;/p><p>　　我們知道激光加工是激光系統(tǒng)最常用的應用。根據(jù)激光束與材料相互作用的機理，大體可將激光加工分為激光熱加工和光化學反應加工兩類。激光熱加工是指利用激光束投射到材料表面產(chǎn)生的熱效應來完成加工過程，包括激光焊接、激光切割、表面改性、激光打標、激光鉆孔和微加工等；光化學反應加工是指激光束照射到物體，借助高密度高能光子引發(fā)或控制光化學反應的加工過程。包括光化學沉積、立體光刻、激光刻蝕等。激光加工作為先進制

9、造技術已廣泛應用于汽車、電子、電器、航空、冶金、機械制造等國民經(jīng)濟重要部門，對提高產(chǎn)品質量、勞動生產(chǎn)率、自動化、無污染、減少材料消耗等起到愈來愈重要的作用。我們日常生活中的時鐘時間的分辨率是秒，而飛秒激光器對時間的分辨率可以達到飛秒的程度，所以叫做飛秒激光器。</p><p>　　隨著科技的飛速發(fā)展，飛秒激光微加工技術在國內外的研究有了很大的突破：</p><p>　　（1）金屬納米顆粒加

10、工：自1993年Henglein A等人首次利用激光消融法制備金屬納米顆粒以來，許多研究小組制備出高純度、粒度分布均勻的金屬納米顆粒。Link H等人進一步控制飛秒激光的能流密度和照射時間，將金屬納米棒完全融化為金屬納米點。與其它激光脈沖相比，飛秒激光改變的金屬顆粒尺寸大小和特定形狀，使金屬納米顆粒特別是貴金屬(Au、Hg、Pt、Pd等)在催化、非線性光學、醫(yī)用材料科學等領域具有廣闊的應用前景。</p><p>

11、　?。?）金屬掩模板加工：新加坡南洋科技大學Venkatakrishnan K等人利用飛秒激光直寫方法制作了以金屬薄膜為吸收層、石英為基底的金屬掩模板，并將前入射與后入射兩種方案作了比較，發(fā)現(xiàn)采用前入射的方法能夠得到更小的特征尺寸和好的邊緣質量。并且利用飛秒激光超衍射極限加工有效地修補了金屬鎘掩模板的缺陷，修復的線寬達到小于100 nm的精度。目前構建的飛秒激光修正光掩模板工具已在IBM的柏林頓、佛蒙特州的掩模制作設備中運行。這對微電子

12、技術的發(fā)展將具有重要意義。</p><p>　　（3）復雜的微結構加工：①耐熱玻璃上的水渠道結構(圖1)，邊緣質量較好。但結構的精確性、表面和底端形態(tài)還有待改進；②光敏樹脂里面制作的世界上最小的人造動物模型：10μm長，7μm高的公牛；③ScR500樹脂內制備的約10μm的微型金字塔和房子模型；④光刻膠上飛秒雙光子聚合(Two-Photon P01ymerization：TPP)的微型蜘蛛和恐龍模型(圖2)等。&

13、lt;/p><p>　　圖1 耐熱玻璃上深4的水渠道結構</p><p>　　圖2 TPP加工的微小蜘蛛（a）和恐龍模型（b）的掃描電子顯微鏡圖</p><p>　　這些都為飛秒激光加工將在高密度內聯(lián)接印刷電路板、MEMS制造、微納米過濾技術中具有良好的工業(yè)應用前景奠定了基礎。</p><p><b>　　2、飛秒微加工特點</

14、b></p><p>　　飛秒脈沖激光具有以下兩個特點：</p><p>　?、倜}沖持續(xù)時間短。飛秒脈沖的持續(xù)時間可以短至幾個飛秒，而光在1飛秒內僅僅傳播0.3nm,比大多數(shù)細胞的直徑還要短；</p><p>　?、诜逯倒β蕵O高。飛秒激光將脈沖能量集中在幾個至幾百個飛秒的極短時間內，因此其峰值功率很高。例如，將1的能量集中在幾個飛秒時間內并會聚成10光斑，其光

15、功率密度可達到1018W/cm2，將其換算成電場強度則為2×1012V/m，為氫原子中庫侖場強（5×1011V/m）的4倍，這就有可能將電子從原子中直接剝離出來。</p><p>　?、圯^小的損傷閾值。激光加工在時間上可分為兩個階段:(l)激光與材料相互作用，即激光吸收與材料加熱;(2)材料熔化和汽化過程，即材料去除過程。因此，對特定波長的激光來說，材料可分為:吸收材料(如金屬和大多數(shù)半導體對

16、可見光來講就是吸收材料)和透明的介電材料(如玻璃對可見光來講就是透明材料)。對吸收材料，其中存在大量的自由電子，通過焦耳加熱（又稱為逆韌致吸收)過程吸收激光能量，材料本身被加熱。當激光脈沖寬度下降到一定程度，損傷閡值將與激光脈沖寬度無關。對透明材料，激光損傷過程可以有兩種方式:雪崩電離和多光子電離；其中雪崩電離過程中，如果激光能流足夠高，那么，自由電子的密度就會像雪崩一樣，以指數(shù)形式上升，一旦等離子體達到臨界密度，透明材料就變成吸收材料

17、，損傷即將發(fā)生；在多光子電離過程中，只有在極高的激光場強下，多光子電離才能占優(yōu)勢。而長脈沖激光場強較低，多光子電離過程可忽略不計，激光損傷以雪崩電離過程為主。</p><p>　?、茌^小的熱區(qū)影響。由于超短脈沖激光能量被限制在趨膚深度的范圍內，而且作用時間極短，能量還沒來得及擴散，材料已經(jīng)被加熱到極高的溫度，直接以汽相蒸發(fā)，這樣在材料內形成很大的溫度梯度，并且材料以汽相蒸發(fā)帶走大部分熱量，使得周圍熱影響區(qū)很小。&

18、lt;/p><p>　?、葺^高的加工精度。由于超短脈沖激光的燒蝕閾值很精確，因此將激光的能量控制在正好等于或略高于燒蝕閾值，則只有高于燒蝕閾值的部分產(chǎn)生燒蝕，可進行低于衍射極限的亞微米加工。由于透明材料為脆性材料，長脈沖激光加熱產(chǎn)生的熱應力使之在損傷的同時發(fā)生破裂并有碎片飛出，故無法進行加工，而超短脈沖激光產(chǎn)生的熱影響區(qū)很小，所以，可進行精加工。</p><p>　　由于飛秒激光具有上面所述的

19、特點，較原有的長脈沖激光在加工領域有許多不可替代的獨特優(yōu)勢。</p><p>　?。?）加工結果的精確性。由于飛秒激光可避免傳統(tǒng)脈沖紅外和可見激光與材料作用時熱影響區(qū)域大的特點，從而提高了激光加工的精確程度；</p><p>　　（2）加工材料的廣泛性。飛秒激光加工過程中，脈沖的超高峰值使得材料對入射激光進行多光子吸收，而非線性共振方式吸收，造成飛秒激光加工高度依賴于激光強度，并具有確定閾

20、值的特性，因此當脈沖持續(xù)時間足夠短、峰值足夠高時，飛秒激光可以實現(xiàn)對任何材料的精細加工、修復和處理，而與材料的種類和特性無關。此外，飛秒激光在能量損耗方面所具有的低耗性。在加工中所具有的加工尺寸的亞微米特性也是長脈沖激光所無法比擬的。</p><p>　　3、微加工的物理機制研究 </p><p>　　飛秒激光微加工的研究、試驗大多都是探索性的,多與長脈沖情形相比較而確定飛秒激光的燒蝕特性

21、,在一定程度上解釋了飛秒激光與物質相互作用的物理本質。目前理論研究較系統(tǒng)的材料有金屬和透明介質。</p><p>　　(1)金屬：前蘇聯(lián)Anisimov S I等人于1975年第一次提出了超短脈沖燒蝕金屬材料的雙溫模型。該模型從一維非穩(wěn)態(tài)熱傳導方程出發(fā),考慮到超短脈沖作用時,存在光子與電子、電子與晶格兩種不同的相互作用過程,列出了電子與晶格的溫度變化微分方程,即雙溫方程。一些學者以該模型為基礎,在不同的激光脈寬下

22、對雙溫方程進行約化,求得解析解[1]。發(fā)現(xiàn)當激光脈寬遠遠小于晶格的受熱時間時,燒蝕時間不依賴于激光脈寬[2]。試驗得到的金屬銅材料的燒蝕速率與雙溫模型基本一致。1999年, Falkovsky L A和MгshchenkoE G基于玻爾茲曼方程和費米狄拉克配分函數(shù)提出熱電子爆炸模型來描述金屬材料中的超快形變。2002年,Chen JK等人綜合雙溫模型及電子爆炸模型,假定單軸應變三維高壓條件,提出了一系列相關聯(lián)的瞬時熱彈性變形方程[3]。

23、數(shù)值結果表明,超短激光脈沖燒蝕過程中,非熔融態(tài)損傷占支配地位,這種非熔融態(tài)損傷的主要動力來源于熱電子爆炸力。</p><p>　　(2)透明介質：1990年,HandD P和RussellP StJ根據(jù)K-K(Kramers-Kronig)因果關系提出了色心模型[4],該模型的前提是假設光敏效應產(chǎn)生于缺陷處局域電子的激發(fā)。在一定范圍內解釋了折射率變化的原因。但Russell、Williams等人分別通過吸收光譜測

24、量及進行K-K變換發(fā)現(xiàn)得到的折射率變化與實驗結果有兩個數(shù)量級的差異。隨后有學者提出了偶極模型、壓力模型、應力壓縮模型等。1997年,哈佛大學MauE領導的小組研究了飛秒激光在熔融SiO2、BK7光學玻璃等透明材料內部產(chǎn)生的微爆炸現(xiàn)象[5]。除化學氣相沉積金剛石外,均導致了直徑為亞微米的立體像素,通過分析表明:飛秒激光在透明介質中引發(fā)的強烈自聚焦效應使激光焦斑尺寸小于衍射極限,微爆炸形成一個微腔,腔周圍是高密度材料。2002年,德國He-

25、nykM等人分析了飛秒激光燒蝕藍寶石,表明燒蝕的基本過程是由于表面爆炸即庫侖爆炸所引起的。另外,該小組還研究了飛秒激光燒蝕NaCl及BaF2等寬帶隙晶體材料,同樣證實了庫侖爆炸的合理性。2003年,EgidijusVanagas等人采用納焦能量的飛秒激光在硼酸硅玻璃形成丘狀</p><p>　　飛秒激光脈沖的光束特性決定了他是激光微細加工中最理想的工具[12]。飛秒激光加工可以實現(xiàn)小于焦點光斑尺寸的精度加工,原因

26、在于多光子吸收的光強依賴性。首先,飛秒激光加工時存在著準確的多光子吸收閥值。從光和物質相互作用的角度而言,飛秒激光是在極短的時間、極小的空間尺度、極端的物理條件下對物質進行加工,其過程與傳統(tǒng)的激光加工線性吸收不同,主要涉及多光子吸收[13]。多光子吸收與照射的激光強度Ip以及電磁場強度密切相關,強的激光強度同時又激勵了強的電磁場,這樣極大的刺激了多光子吸收。當激光強度Ip位于1012～1014 W/cm2時，材料中的電子將同時吸收多個光

27、子,在高強度激光電磁場中可以容易地從原子和分子中剝離電子而產(chǎn)生電離;當激光強度Ip增加到1014～1016W/cm2時,激光強光場產(chǎn)生的電勢將使得原子固有勢壘在一定程度上得到抑制,從而導致電子通過隧道效應獲得電離;當激光強度繼續(xù)增加, Ip大于1016W/cm2時,強場勢能使得電子從原子束縛中徹底逃逸。這些電離產(chǎn)生的電子作為種子電子,又可以進一步吸收光子產(chǎn)生更多的自由電子。這些種子電子密度不依賴于外在介質,并且不呈現(xiàn)大的統(tǒng)計波動,光對物

28、</p><p>　　4、飛秒微加工方法及結果分析</p><p>　　4.1飛秒微加工的方法 </p><p>　　飛秒激光微加工的實驗技術手段主要包括直寫、干涉和投影制備等方法。直寫加工比較靈活且具有較高的自由度,常用于各種點、線掃描;干涉方法常用于加工多維空間周期結構;投影成型技術可以在材料表面制備任意形狀的二維圖案。</p><p>

29、;　?。?）直寫 早期曾使用過染料激光器進行加工，目前主流的飛秒激光微加工實驗裝置是商業(yè)化的摻鈦藍寶石的啁啾脈沖放大系統(tǒng)。具體激光參數(shù)包括:中心波長為800 nm左右,脈寬為幾十到幾百飛秒,單脈沖能量已達到毫焦量級,重復頻率為1～103kHz量級可調諧。為了減小加工中熱效應的累積,可將重復頻率降得更低。直寫是飛秒激光微加工的基本方法,以下參數(shù)對飛秒激光直寫加工有重要意義：</p><p>　　1)直寫方向:橫向

30、直寫和縱向直寫了；</p><p>　　2)脈沖重復頻率:通常認為幾百到兆赫茲為低重復率,高于兆赫茲的為高重復率；</p><p>　　3)脈沖能量:通常認為單脈沖能量在納焦量級的為低能量,微焦量級的為高能量；</p><p>　　4)掃描速度:5～200μm/s為低速掃描,1～50mm/s為快速掃描。</p><p>　　橫向直寫通常用于線

31、掃描,由于焦斑光強分布的縱向深度一般比橫向尺度大,激光修飾區(qū)的橫截面縱橫比較大。為了減小這種差別可以使用數(shù)值孔徑比較大的物鏡聚焦,或者在光束中添加其他光學元件調整脈沖強度的空間分布?？v向直寫又可分為自上表面向下掃描和自下表面向上掃描兩種模式。在縱向直寫加工模式下,激光輻照區(qū)的橫截面通常是圓形,但是自上而下進行縱向加工時飛秒激光束受燒蝕區(qū)的散射作用較大,會影響加工質量。</p><p>　　（2）干涉 飛秒激光在

32、整個脈沖寬度內具有極好的相性。當從同一光束分出的兩束或兩束以上的光束干疊加時會形成強度周期性調制的電磁場,與材料作用時能產(chǎn)生相應的周期性微結構。脈沖時間越短,相干區(qū)域越小,對于兩束夾角為的光束,相干區(qū)的尺寸為</p><p><b>　　(5) </b></p><p><b>　　干涉條紋的數(shù)量為</b></p><p>

33、;<b>　　(6)</b></p><p>　　式中為真空中激光的波長。通過飛秒激光雙光束干涉、多光束干涉結合多次曝光和多層干涉等技術可以在各種材料表面和體內制備一維、二維和三維等復雜周期結構。</p><p>　　4.2飛秒激光微處理的結果 </p><p>　　激光輻照介質材料時引起的變化按作用光強可以分為兩類:當激光強度低于損傷閾值時

34、會產(chǎn)生一些非破壞性的可逆相變,如光折變效應、色心形成和一些特殊玻璃(如硫系玻璃等)中的暗化效應等;當激光強度超過光損傷閾值時會引發(fā)材料不可逆的結構變化[11]。超短脈沖激光加工各種玻璃(石英玻璃、硼硅酸鹽玻璃等)和透明聚合物(如PDMA,SU-8等)時,目前研究得比較多的主要包括如下幾類現(xiàn)象：</p><p>　?。?）超過閾值的激光燒蝕造成的表面物理損傷；</p><p>　　（2）微爆

35、炸或沖擊波形成的體內微孔結構；</p><p>　　（3）色心缺陷造成的暗化或著色現(xiàn)象；</p><p>　　（4）材料的致密化或其他原因導致的局部折射率修飾；</p><p>　　（5）單束飛秒激光作用引起的自組裝周期結構等。</p><p>　　通常飛秒激光誘導出的微結構是各種效應綜合作用的結果,很難用單一的機制解釋清楚,這種作用機制有待

36、進一步研究。</p><p>　　5、飛秒微加工應用研究</p><p>　　飛秒激光微加工技術在超高速光通訊、強場科學、納米科學、生物醫(yī)學等領域具有廣泛的應用和潛在的市場前景。</p><p>　　在信息技術領域的應用</p><p>　　在傳統(tǒng)光通信領域,許多光子學器件的制備基于硅基的平板光波線路技術,如光柵波導陣列和1×N光學

37、分束器等已用于商業(yè)用途。這種技術使波導相互連接、光路插接和波</p><p>　　圖3 三維微環(huán)諧振器示意圖(a)主視圖;(b)側視圖</p><p>　　導三維交叉變得靈活而方便,而使用飛秒激光適當控制各種加工參數(shù)可以直接在平板光波線路上加工并連接部分平板光路,并且連接損耗較小[9]。通過縱向移動樣品,還可以在材料內部不同深度制備各種微結構,實現(xiàn)真正的三維光集成,如三維光學耦合器、光學微

38、環(huán)諧振腔等[10] (圖3)。</p><p>　　這種器件制備簡單靈活,結構緊湊高度集成,在光通信領域具有廣泛應用。光通信的高速率、大容量和寬帶寬的發(fā)展方向,要求光電器件的高度集成化。而集成化的前提是光電器件的微型化。因此,光電器件的微型化是當前光通信領域研究的前沿和熱點。近年來,相比傳統(tǒng)的光電技術,飛秒激光微加工技術將成為新一代光電器件的制造技術。國內外學者在光波導的制備技術等諸多方面進行了有益的探索,取得了

39、很大的進展。</p><p>　　5.2 在微電子制造領域的應用</p><p>　　現(xiàn)代微電子產(chǎn)業(yè)在本質上是以芯片的集成制造為核心，而光掩模和光刻技術是處在這一核心鏈中的一個關鍵環(huán)節(jié)。它是聯(lián)絡集成電路設計與制造的紐帶，光掩模和光刻技術水平和質量就成為集成電路產(chǎn)品、質量和生產(chǎn)效率的關鍵。</p><p>　?。?）飛秒激光實現(xiàn)對光掩模缺陷的修復。隨著超高速、超高頻

40、、超高集成度電路及器件的研制和開發(fā)，線寬的特征尺寸已進入深亞微米、百納米以至納米級。對于如此復雜的光掩模，要實現(xiàn)毫無缺陷的制作過程將變得非常困難，甚至不太可能。國際著名的半導體制造商SEMATECH公司已經(jīng)將此困難列為限制下一代微芯片發(fā)展的主要因素。這些缺陷通常包括在光掩模版上的某個非合適位置處殘留有多余的金屬吸收體。它們的去處必須讓該位置對光具有高透射率，同時又不能損傷襯底硅材料及其相鄰的區(qū)域，應用傳統(tǒng)的納秒激光燒蝕技術很難滿足這種要

41、求，而聚焦離子束（FIB）實現(xiàn)的最小修補線寬為0.35μm。2002年10月,IBM公司的研究人員報道了光掩模缺陷修復技術的新突破[7]。他們使用持續(xù)時間為100fs三倍頻波長為266nm的深紫外飛秒光激光脈沖，對掩模版上殘留的鉻吸收體進行了去除。在此過程中，不僅由于飛秒激光的多光子吸收效應突破了光學衍射的限制，實現(xiàn)了修復線寬小于100nm的加工精度。而且由于吸收體材料的直接等離子化，避免了對周圍區(qū)域的熱損傷。在如下圖，黑色部分為金屬鉻

42、吸收材料的覆蓋區(qū)域，白色部分為裸露的硅襯底，線寬為0.75其中圖</p><p>　　圖4 飛秒激光修復光掩模</p><p>　　（2）飛秒激光直寫技術實現(xiàn)對光掩模有效、快速的新型制造。光掩模（Photomask）是指根據(jù)IC器件設計版圖數(shù)據(jù)進行定制的、載有集成電路圖形結構的高純精密石英玻璃版，其作用相當于一個模具，它是半導體微細加工和制造業(yè)的重要前提。目前它的制造通常采用平版印刷方法

43、。這一技術的原理就是將光投射到表面具有感光材料外層的襯底硅基片，光照射到的地方感光層將變硬，經(jīng)過顯影、定影等處理后其余的地方被除去，從而在硅片上將出現(xiàn)迷宮一樣的細微電路。這種技術的關鍵是對照射光波長的控制，由于聚焦衍射光斑受到照射波長衍射的限制，波長越短，“印出”的電路就越細，越清晰。</p><p>　　5.3　在生物醫(yī)療領域的應用</p><p>　　飛秒激光具有“冷”加工、能量消耗低

44、、損傷小、準確度高、三維空間上嚴格定位的優(yōu)點,最大限度地滿足了生物醫(yī)療的特殊要求:①手術風險低,可對同一患處進行多次手術,治療愈合周期短；②相比傳統(tǒng)手術刀,醫(yī)源性感染少；③“全激光”手術,無刀勝有刀,精確度高；④無痛,無并發(fā)癥。目前,在此方面取得的研究進展有:①在牙齒、隱形眼鏡上鉆孔[8],邊緣干凈、無損傷；②非熱性手術切割燒蝕腦組織樣品；③納米切割人體染色體；④制作血管支架,力學性能好,可望解決血管再狹窄問題,即治療冠心病；⑤飛秒激光

45、飛行質譜DNA排序[16]；⑥飛秒激光激發(fā)的熒光顯微術對小鼠植入前胚胎內細胞中的鈣信號和染色體實現(xiàn)真正的三維、四維實時成像[17]等。最具有現(xiàn)實意義的是美國IN-TRALASE公司的Intralase飛秒激光,可以按任何角度、形狀設計制作光滑而且厚度均勻一致的角膜瓣,精確到 ±10μm。至今Intralase飛秒激光的LASIK手術已經(jīng)超過30萬例,臨床統(tǒng)計它的精度要超過傳統(tǒng)角膜刀100多倍。IntraLase“飛秒激光”的出

46、現(xiàn),使人類第一次在眼角膜手術上離開了手術刀,真正實現(xiàn)了“全程無刀手術”?，F(xiàn)在科研者正努力將其用于</p><p><b>　　6、總結與展望</b></p><p>　　當今世界的許多最新科研成果、前沿技術和高新技術等[18],已被運用于飛秒激光加工這一全新的加工技術,他以其獨特優(yōu)越性能正在打破以往傳統(tǒng)的激光加工方法,開創(chuàng)了材料超精細、無熱損傷和3D空間加工和處理的新

47、領域,日益引起人們的興趣和研究熱潮,無論在加工機理、還是在加工應用的深化或者推廣都需要更進一步地深入研究。今后研究的熱點和重點首先是提高飛秒激光光束本身的質量,這方面將集中于提高飛秒激光器的波長變化范圍和脈沖波形控制功能,使飛秒激光器實現(xiàn)多功能、高性能化,從而擴展加工應用的領域和范圍。其次是繼續(xù)探索飛秒加工的各種機理,研究不同的激光參數(shù)對飛秒加工的影響;探討工作環(huán)境對超精細加工的影響;探索飛秒加工的物理本質和加工極限尺寸[19]。我們有

48、理由相信隨著飛秒激光加工技術發(fā)展的逐步深入和完善,飛秒激光將在未來的微細加工領域發(fā)揮越來越重要的作用。</p><p><b>　　參考文獻:</b></p><p>　　[1] Chichkov B N,Momma C,Nolte S, et a.l Femtosecond, pico-second and nanosecond laser ablation of

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58、07(03).</p><p>　　[14] 楊建軍.飛秒激光超精細“冷”加工技術及其應用(續(xù))[J].激光與光電子學進展,2004(04).</p><p>　　[15] 吳晗平.激光光束質量的評價與應用分析[J].光學精密工程,2000(02)</p><p>　　[16] 黃仁鋒.飛秒激光及其在生物醫(yī)學中的應用探討[J].井岡山醫(yī)專學報, 2006, 4(13

59、): 33～34.</p><p>　　[17] 程　兵,林丹櫻,王曉廣,等.雙光子激發(fā)熒光成像技術對小鼠植入前胚胎的實時觀測[J].光譜學與光譜分析,2006, 26(2): 193～197.</p><p>　　[18] 現(xiàn)代焊接技術的特征及在工業(yè)制造中的應用[J].熱加工工藝(焊接版),2006(01).</p><p>　　[19]朱江峰,魏志義.飛秒激光精

60、密微納加工的研究進展[J].物理,2006(08).</p><p><b>　　致 謝</b></p><p>　　2006年9月我來到了天水師范物理與信息科學學院學習．在這四年的學習過程中，我得到了物理系各位領導、老師及班級同學的熱心幫助和支持，在此謹向他們表示我最衷心的感謝！</p><p>　　在我的畢業(yè)論文學習寫作過程中，我得到了令

61、維軍老師的精心指導．令老師的治學態(tài)度、教學風格使我獲得了多方面的知識，綜合提高了自己的能力.尤其是他的研究精神讓我深受感動，這對我的影響和教育將使我受益終身．這一切都是無法用文字來概括的．再次對指導老師表示最誠摯的謝意和祝福！</p><p>　　感謝令老師在學習和工作方面給了我大量的指導,讓我學到了很多知識,掌握了怎樣寫論文,也獲得了實踐鍛煉的機會.他對我的嚴格要求以及為人的誠懇都將使我終身受益,并順利的完成在