x射線光電子能譜數據處理

1、x射線光電子能譜數據處理,主要內容,儀器型號及主要參數 元素組成鑒別元素定量分析元素化學態(tài)分析,主要內容,儀器型號及主要參數,儀器型號及主要參數,X射線光電子能譜儀型號：AXIS ULTRA DLD （島津集團Kratos公司生產）X射線源：單色化Al靶，Al Kα hv=1486.6eV樣品分析區(qū)域：700×300µmX射線工作功率：一般為150w。數據命名：“譜圖-姓首字母+樣品號”

2、（如Dataset wide-z1:7(2014-03-11)中“wide-z1”就是數據名稱）,主要內容,元素組成鑒定,元素組成鑒定,操作步驟：1.使用Excel打開原始數據。將表格數據向下拉，依次為寬譜（wide）及各個元素的窄掃描數據（如O1s,C 1s等）2.選取寬譜（wide）的（或是要分析元素的）數據區(qū)域3.將數據拷入Origin軟件，以Binding Energy（BE）作為橫坐標，Intensity（I）作為縱坐標

3、作圖，得到曲線。4.不同元素對應唯一的結合能數值（BE），可與X射線光電子能譜標準譜圖進行對比（NIST網址：http://srdata.nist.gov/xps/seLEnergyType.aspx）5.首先鑒別總是存在的元素譜線，如C、O的譜線6.鑒別樣品中主要元素的強譜線和有關的次強譜線7.鑒別剩余的弱譜線假設它們是未知元素的最強譜線,元素組成鑒定,,Typical XPS Survey Spectrum,主要內容,元素定

4、量分析,元素定量分析,采用元素靈敏度因子法：1、查找對應元素相應軌道的靈敏度因子，計算峰面積/靈敏度因子比值；2、按下面所列公式將各個元素特征譜的峰面積/靈敏度因子比值進行歸一化求和，即可得到各個元素在樣品表面的相對含量。對于同一樣品中的兩個元素i和j，其原子濃度比為,元素定量分析,操作步驟：1.打開原始數據后，以binding Energy(BE)作為橫坐標，以Intensity 列/Transmission Value

5、 列得到的有效強度I’作為縱坐標，在xpspeak 軟件中取基線求得峰面積或是Origin軟件中對元素對應的峰進行積分求得I’。2.元素靈敏度因子S可查表（見附錄RSF）得到。3.運用公式計算可得元素原子相對濃度極其比值。說明：另一種求算峰面積方法是：用原始數據的binding Energy(BE)作為橫坐標， Intensity 列作為縱坐標，在xpspeak 軟件中取基線求得峰面積或是Origin軟件中對元素對應的峰進行積分

6、求得。這兩種方法的求得元素的相對原子濃度比相差不多。,主要內容,元素化學態(tài)分析,元素化學態(tài)分析,操作步驟：1.對于半導體、絕緣體，測量化學位移前應首先進行荷電校正（所發(fā)數據已經校正）。2.一般情況下，光電子譜峰間的距離保持不變，峰間距可由標準譜圖查得。3.對于p、d、f 等能級的次能級（如p3/2、p1/2)強度比是一定的，p3/2：p1/2=2:1； d5/2：d3/2=3:2； f7/2：f5/2=4:3。在峰擬合過程中要遵循

7、該規(guī)則。如W4f中的同一價態(tài)的W f7/2和Wf5/2的峰面積比應為4:3。4.被測原子的氧化態(tài)越大，或與電負性大的原子結合時，內層電子結合能越大。5.根據樣品實際情況，進行分峰擬合分析。,元素化學態(tài)分析,I 荷電校正： 對于半導體，絕緣體，需以C單質的標準峰位284.8校正。 說明：所給數據都已經校正，所以數據不需進行此步驟處理。,元素化學態(tài)分析,II.分峰擬合（軟件—xps Peak4.1）1、將所拷貝數據轉換

8、成TXT格式：把所需擬合元素的數據引入Origin后，將column A和B中的值復制到一空的記事本文檔中（即成兩列的格式，左邊為結合能，右邊為峰強），并存盤。如要對數據進行去脈沖處理或截取其中一部分數據，需在Origin中做好處理。 2、將.txt數據導入（Import ASCII)XPS Peak4.1.,,元素化學態(tài)分析,3、選擇本底：點Background，因軟件問題， High BE和Low BE的位置最好不改，

9、否則無法再回到 Origin，此時本底將連接這兩點，Type可據實際 情況選擇，一般選擇Shirley 類型。,元素化學態(tài)分析,4、加峰：點Add peak，出現(xiàn)小框，在Peak Type處選擇s、p、d、f等峰類型（一般選s），在Position處選擇希望的峰位，需固定時則點fix前小方框，同法還可選半峰寬（FWHM）、峰面積等。各項中的constraints可用來固定此峰與另一峰的關系，如Pt4f7/2和Pt4f

10、5/2的峰位間距可固定為3.45，峰面積比可固定為4:3等。點Delete peak可去掉此峰。然后再點Add peak選第二個峰，如此重復。,元素化學態(tài)分析,5、擬合：選好所需擬合的峰個數及大致參數后，點Optimise region進行擬合，觀察擬合后總峰與原始峰的重合情況，如不好，可以多次點Optimise region。6、參數查看：擬合完成后，分別點另一個窗口中的Rigion Peaks下方的0、1、2等可看每個峰的參數，此

11、時XPS峰中變紅的為被選中的峰。如對擬合結果不region滿意，可改變這些峰的參數，然后再點Optimise。,元素化學態(tài)分析,7、點Save XPS存圖，下回要打開時點Open XPS就可以打開這副圖繼續(xù)進行處理。,元素化學態(tài)分析,8、數據輸出： 　點Data――Print with peak parameters可打印帶各峰參數的譜圖，通過峰面積可計算此元素在不同峰位的化學態(tài)的含量比。點Data――Export to cli