測量裝置安裝誤差對回轉(zhuǎn)誤差分離精度影響分析研究.pdf

1、隨著科學(xué)的進(jìn)步和工業(yè)技術(shù)的發(fā)展，機(jī)械零件尤其是高精度設(shè)備核心零件質(zhì)量和精度都有顯著提高。主軸作為機(jī)械設(shè)備的核心零件，其精度對整個設(shè)備精度影響很大，主軸精度的提高也是精密加工的關(guān)鍵技術(shù)。液體靜壓軸承和氣體靜壓軸承的應(yīng)用，使得主軸的精度得到很大提高，達(dá)到亞納米精度，而且隨著超精密加工技術(shù)、納米技術(shù)、尖端技術(shù)的發(fā)展，未來回轉(zhuǎn)零件的回轉(zhuǎn)誤差將會達(dá)到50nm-5nm甚至更高。主軸和回轉(zhuǎn)體類零件精度的提高，也相應(yīng)提高了這類零件誤差測量技術(shù)的難度。主

2、軸回轉(zhuǎn)誤差技術(shù)的測量過程中，回轉(zhuǎn)軌跡不能直接測量，只能間接測量回轉(zhuǎn)體的外圍信號，這就不可避免的混入了零件的形狀誤差。所以必須對高精密主軸的誤差分離技術(shù)進(jìn)行分析和研究。
　　本文介紹了反轉(zhuǎn)法、數(shù)理統(tǒng)計(jì)法、三點(diǎn)法、四點(diǎn)法、多步法幾種經(jīng)典誤差分離技術(shù)原理，并對比了幾種分離方法的優(yōu)缺點(diǎn)和適用場所。同時從實(shí)際測量安裝過程中，理論分析實(shí)驗(yàn)裝置的安裝誤差對幾種分離方法分離結(jié)果的影響，對比了在實(shí)際測量過程中，影響分離結(jié)果的主要因素。同時針對三點(diǎn)法

3、提出了一種簡化傳感器安裝過程、減小傳感器定位誤差改良措施，并用實(shí)驗(yàn)進(jìn)行驗(yàn)證。本文主要完成工作如下：
　　1.介紹了反轉(zhuǎn)法、數(shù)理統(tǒng)計(jì)法、三點(diǎn)法、四點(diǎn)法、多步法幾種經(jīng)典誤差分離方法的原理，在精度、安裝、在線測量等方面對幾種分離技術(shù)進(jìn)行對比。對圓度誤差評定技術(shù)和回轉(zhuǎn)誤差評定技術(shù)進(jìn)行總結(jié)，確定了回轉(zhuǎn)誤差和圓度誤差采用的誤差評定方法。
　　2.通過單一變量法，分別研究了傳感器安裝中的定位誤差、傾斜度誤差、錯位誤差對幾種誤差分離技術(shù)誤差

4、分離精度的影響，回轉(zhuǎn)體的安裝過程中的偏心誤差、定位誤差對誤差分離技術(shù)分離結(jié)果的影響?？偨Y(jié)出反轉(zhuǎn)法精度低的原因，以及影響三點(diǎn)法分離精度最主要因素是傳感器的安裝誤差。
　　3.針對傳感器安裝誤差是影響三點(diǎn)法誤差分離精度的主要原因，借鑒 Grejda反轉(zhuǎn)法提出一種三點(diǎn)法的改良措施，完成該方法的三維簡圖、原理介紹、優(yōu)缺點(diǎn)分析、平臺搭建。
　　4.通過在氣浮回轉(zhuǎn)平臺和小型轉(zhuǎn)子上的實(shí)驗(yàn)，利用LBAVIEW軟件設(shè)計(jì)的回轉(zhuǎn)誤差檢測系統(tǒng)，驗(yàn)證