單自由度硅微型振動輪式陀螺儀測控線路研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、過去的幾十年,隨著集成電路技術(shù)的成熟發(fā)展,產(chǎn)生了一種新型的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)。其中,硅微型慣性測量單元是MEMS技術(shù)的一個重要應(yīng)用領(lǐng)域,而硅微型機(jī)械陀螺儀是構(gòu)成這種測量單元的核心器件,它具有體積小、重量輕、成本低、動態(tài)特性好、可靠性高等獨特優(yōu)點,有著廣闊的應(yīng)用前景。 本文介紹了我們自行設(shè)計的一種硅微型單自由度振動輪式陀螺儀的外圍電路設(shè)計方案,主要研究內(nèi)容包括以下幾個方面： 1.分析了硅微型單自由度振動輪式陀螺儀的動力

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