IC測試系統(tǒng)中時間參數(shù)測量單元的研究.pdf

1、集成電路(Integrated Circuit,IC)測試是IC產(chǎn)業(yè)鏈中重要的構(gòu)成部分,應(yīng)用于IC的生產(chǎn)的整個過程,在保證產(chǎn)品性能、質(zhì)量上具有不可替代的作用。IC測試設(shè)備作為IC測試載體,對其研究將具有重要意義。
　　論文首先對IC測試系統(tǒng)中所包含的各個功能單元、通信管理機制等做了簡要概述,重點分析了IC測試系統(tǒng)中有關(guān)交流參數(shù)測量的功能單元,并且對功能單元涉及的關(guān)鍵技術(shù)和方法做了詳細研究,同時通過對功能單元工作原理的系統(tǒng)分析,設(shè)計

2、實現(xiàn)了硬件電路、驅(qū)動電路以及面向用戶的測量指令,并通過實驗分析驗證了設(shè)計單元、測量指令的測試功能。
　　在IC測試系統(tǒng)中,交流參數(shù)也稱為時間參數(shù),因此實現(xiàn)交流參數(shù)測量的功能單元也稱為時間參數(shù)測量單元(time parameter measurement units,TMU)。時間參數(shù)測量單元以時間-數(shù)字轉(zhuǎn)換(time-to-digital converter,TDC)技術(shù)為基礎(chǔ),實現(xiàn)方式分為數(shù)字和模擬兩種,論文基于FPGA設(shè)計實現(xiàn)

3、了具有2ns高分辨率的數(shù)字化TDC電路。在時間參數(shù)測量單元的硬件電路實現(xiàn)上,為了對待測信號的無損采集和高速處理,論文詳細討論了硬件電路測量通道的布局、元器件的選型、功能板電壓穩(wěn)定性分析、FPGA性能分析以及板級電路信號完整性分析等,在電路上實現(xiàn)了4路具備高壓測試能力和16路具備低壓測試能力的時間參數(shù)測量通道。在時間參數(shù)測量單元的驅(qū)動設(shè)計中,基于總線實現(xiàn)了對硬件電路的驅(qū)動控制,設(shè)計了4類時間參數(shù)測量的邏輯電路,完成了對時間參數(shù),如周期、脈