基于MEMS技術的微加熱板的設計與制作.pdf

1、基于微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的微加熱器在氣體傳感器、紅外發(fā)射器、氣體流量計、微熱量計、紅外光源等領域有較大的發(fā)展?jié)摿ΑＮ⒓訜崞骶哂屑訜峁β实?，響應時間快、熱量損耗小、與CMOS 工藝兼容、易于同其它微電子器件集成等優(yōu)點。懸浮式微加熱板能有效降低熱導、減少熱損耗，提高微加熱器的工作溫度，成為微加熱器的主導形式。
　　 本文采用絕緣體上硅(SOI)基片來進行懸浮式微加熱板的設計和制作，開展微加熱板（簡稱微熱板）的理論分析和實驗研究

2、，內容主要包括：
　　 (1)總結了微熱板的工作原理、結構類型及傳統(tǒng)加工工藝，同時簡單分析了微熱板的熱學、力學理論?；诶碚摲治鰧ξ岚暹M行了結構設計與尺寸優(yōu)化；基于實驗室的設備及工藝條件，選取合適的材料，提出了一套工藝制作流程，繪制了全套掩模板。
　　 (2)采用COMSOL 多物理場耦合分析軟件對所設計的微熱板結構進行了熱學與力學模擬，得到了溫度分布、熱應力分布、受熱膨脹變形等結果，為器件設計提供了理論依據。