2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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文檔簡介

1、靜電型微繼電器的閾值電壓是衡量其性能的一個重要指標,是靜電型微繼電器實用化的關鍵。迄今為止,還沒有其閾值電壓能與普通的電子電路工作電壓(5V)相兼容的靜電型微繼電器的報道。靜電型微繼電器從驅動方式上分為橫向驅動和縱向驅動,目前對縱向驅動方式研究的比較多,而對橫向驅動方式研究的相對較少。本文在闡述了當前國內(nèi)外典型的靜電型微繼電器結構及其性能參數(shù)的基礎上,提出了一種基于MEMS技術的表面工藝加工的梳齒結構橫向驅動靜電型微繼電器,文中給出了該

2、微繼電器的理論模型,利用Coventor軟件進行了模擬仿真,并在此基礎上優(yōu)化了梳齒結構的幾何形狀和尺寸。理論和模擬分析表明,其工作電壓能與普通的電子電路工作電壓相兼容,因而此結構具有較大的實用價值和應用前景。 本文主要基于以下科研項目編寫:安徽省教育廳自然科學重點科研計劃項目“CMOS兼容的低閾值電壓靜電型微繼電器研究”(項目編號:2006KJ026A)。 論文的主要工作和取得的成果如下,: 1.從電容的基本物理

3、模型出發(fā),對梳齒單元進行結構細化,得到了梳齒單元的三維電容分布模型。提出每個梳齒單元中都包含三種電容:側面平板電容,側面邊緣電容和梳齒頂部與對應梳齒根部形成的平板電容。為這三種電容分別建立了解析模型,由此得到了考慮電容邊緣效應的閾值電壓解析模型。 2.提出了多級梳齒驅動結構,以實現(xiàn)低閾值電壓的靜電型微繼電器。這樣的設計可以在不修改工藝流程的情況下,以修改器件結構層版圖的方式提高器件的整體性能。使所設計的靜電型微繼電器的閾值電壓降

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