干法刻蝕制程工藝及相關(guān)缺陷的分析和改善.pdf

1、液晶顯示的廣泛應(yīng)用已經(jīng)使其取代了CRT，成為如今顯示和電視設(shè)備的最主要的顯示技術(shù)，豐富了人們的日常生活，并為信息的交流和傳輸做出了巨大的貢獻(xiàn)。隨著國內(nèi)新一輪高世代生產(chǎn)線的相繼建設(shè)投產(chǎn)，面對(duì)日益激烈的競爭，如何降低缺陷、提高產(chǎn)品的品位，這就需要對(duì)LCD制程工藝有著更高的要求。
　　 本文首先總體介紹了液晶顯示的發(fā)展和現(xiàn)狀，液晶顯示器的制成流程，側(cè)重講述了陣列（array）的制作工藝流程和工藝設(shè)備，然后對(duì)干法刻蝕中的工藝設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)

2、說明?；诠?jié)約空間和提高效率的考慮，行業(yè)內(nèi)對(duì)于金屬層的刻蝕普遍采用干法刻蝕的方式，但生產(chǎn)節(jié)拍的加快，缺陷也隨之而來。干法刻蝕中影響產(chǎn)品品質(zhì)的主要因素為：雜質(zhì)顆粒、RF 電源、排氣速度和真空度，其中生產(chǎn)節(jié)拍的加快對(duì)前兩因素的影響最為重大。在上海廣電NEC工廠的15-26英寸工藝設(shè)備進(jìn)行實(shí)驗(yàn)并取得數(shù)據(jù)，繪制成趨勢(shì)圖，通過各種方法的結(jié)果的比對(duì)，找出了干法刻蝕的最佳條件，重點(diǎn)針對(duì)干法刻蝕設(shè)備中的工藝缺陷進(jìn)行分析和跟蹤，找出相關(guān)的對(duì)策，解決了生產(chǎn)

3、中遇到的實(shí)際問題：
　　 (1)對(duì)于基板“冒煙”問題的解決對(duì)策是：對(duì)量產(chǎn)基板進(jìn)行大批量的對(duì)比觀察，找出問題的發(fā)生原因：刻蝕后除靜電過程中生成物附著于裝載腔室。從而進(jìn)一步通過更改使用的工藝氣體解決了“冒煙”問題。
　　 (2)對(duì)于刻蝕殘留問題的解決對(duì)策是：
　　 1.使用DUMMYCLEAN RECEIPE對(duì)腔室進(jìn)行清掃，通過對(duì)比觀察，找出最合理的清掃間隔；
　　 2.選定相關(guān)的工藝設(shè)備，調(diào)整RF的輸出功率