電液束加工微小凹坑陣列技術研究.pdf

1、摩擦副的表面形貌與其摩擦磨損性能密切相關，研究表明，在摩擦副表面加工出微小凹坑陣列結構對于改善其潤滑狀況，減少摩擦磨損起著非常重要的作用。在所有的表面微坑加工方法中，電解加工岡具備生產(chǎn)率較高，成本低，無機械切削力等優(yōu)點，而備受關注。
　　 電液束加工是電解加工中的一種。它是將電解液壓入導電的密封頭內(nèi)，經(jīng)小孔高速射向被加工工件待加工部位，在工件陽極與電極陰極之間加上高壓直流電，根據(jù)陽極電化學溶解原理進行“切削”加工。由于電流密度分

2、布受到電液束范圍的限制，所以加工區(qū)域只發(fā)生在束流范圍內(nèi)。另外材料的減少過程是以離子形式進行，因此這種微溶解去除方式使得電液束加工在金屬微細制造領域有著廣泛的應用前景。本文進行了電液束加工微小凹坑陣列結構的研究，論文完成的主要工作如下：
　　 (1)通過有限元分析了毛細管電極電液束加工微小凹坑中工件表面被加工區(qū)域的電流密度的分布情況，結果表明，該方法適合半球形微小凹坑的加工。
　　 (2)搭建出毛細管電液束加工微小凹坑的加

3、工系統(tǒng)，開展了毛細管電極電液束加工微小凹坑的試驗，研究了加工電壓、電解液濃度、電解液壓力、加工時間和加工間隙對單個凹坑形狀的影響，以及毛細管間距、電解液樂力和加工間隙對凹坑陣列形狀的影響。
　　 (3)研究采用玻璃毛細管電極靜液加工微小凹坑的基本原理，進行電場分析，開展了玻璃毛細管電極靜液加工微小凹坑試驗，分析各加工參數(shù)，包括加工電壓，加工時間和電解液濃度對凹坑形狀的影響。
　　 (4)通過優(yōu)化加工參數(shù)，獲得了直徑30μ