MEMS封裝運動機構(gòu)的平面軌跡生成及封裝力控制研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、 本課針對MEMS封裝設備中高速精密平面定位機構(gòu)的軌跡生成和封裝頭驅(qū)動單元的力控制這兩個關(guān)鍵技術(shù)進行研究。 在封裝運動機構(gòu)建模方面，建立了高速精密平面定位機構(gòu)的運動學和動力學模型，以及封裝頭驅(qū)動單元在無封裝力作用下和有封裝力作用下的數(shù)學模型。 在封裝運動機構(gòu)的平面軌跡生成方面，分析了高速精密平面定位機構(gòu)在工作空間內(nèi)速度和加速度的特性，提出一種可達最大速度和最大加速度的計算方法，并且基于系數(shù)存儲法實現(xiàn)了簡單、高效的快速運動軌跡生

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