基于OpenGL的MEMS工藝幾何仿真技術(shù)研究.pdf

1、MEMS工藝幾何仿真是MEMS CAD關(guān)鍵技術(shù)之一。通過工藝幾何仿真可以檢驗器件掩膜版圖及其加工工藝流程設(shè)計的合理性；仿真結(jié)果——三維實體模型通過轉(zhuǎn)換成實體文件亦可導(dǎo)入器件級軟件進行器件的性能分析。因此，對工藝幾何仿真的研究具有重要的理論和實際應(yīng)用價值。 首先，本文在版圖文件的命令形式、工藝幾何建模、工藝文件及其設(shè)計工具的基礎(chǔ)上，提出了仿真系統(tǒng)的設(shè)計流程，并根據(jù)流程設(shè)計了系統(tǒng)及其輸入信息存取的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。 然后，基于圖形庫

2、OpenGL完成了包括凹多邊形的分割、多邊形的布爾運算、圓的多邊形轉(zhuǎn)化、模型上表面獲取等基礎(chǔ)算法；并針對已建模工藝設(shè)計了相應(yīng)的仿真算法。 最后，在典型實體文件SAT文件基礎(chǔ)上，探討了仿真結(jié)果——三維實體模型其幾何、拓撲信息的提取，并完成了實體模型向?qū)嶓w文件的轉(zhuǎn)換輸出，實現(xiàn)了工藝級與器件級之間的數(shù)據(jù)交換。 文中以微機械陀螺的幾何仿真過程為例，對仿真系統(tǒng)進行了驗證，得到的仿真結(jié)果與結(jié)構(gòu)設(shè)計吻合，驗證了工藝幾何仿真系統(tǒng)的可行性