高k介電薄膜的制備以及薄膜晶體管中的應用研究畢業(yè)論文_第1頁
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1、山東大學畢業(yè)論文1畢業(yè)論文畢業(yè)論文(設計設計)論文(設計)題目：高k介電薄膜的制備以及薄膜晶體管中的應用研究介電薄膜的制備以及薄膜晶體管中的應用研究Thefabricationofhighkdielectricsfilmitsapplicationonthinfilmtransists學生姓名周廣杰周廣杰學院材料科學與工程材料科學與工程專業(yè)無機非金屬材料工程無機非金屬材料工程年級2011級指導教師姓名指導教師姓名王素梅王素梅副教授副教授

2、山東大學畢業(yè)論文3關鍵詞：關鍵詞：薄膜晶體管；高K介電材料；溶膠凝膠法；Al2O3薄膜AbstractGatedielectricmaterialisanimptantcomponentinmetaloxidesemiconductfieldeffecttransist(MOSFET).Inrecentyearswiththerapiddevelopmentoftransistdevicestowardselabationminiatu

3、rizationthepropositiondevelopmentofhighKmaterialshasbecomeanewresearchhotspot.ButfthegatedielectricmaterialusedinMOSFETinadditiontotherequirementofhighdielectricconstantthequalityofthegatedielectricfilminterfaceisalsoreq

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