2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、貼片技術(shù)與貼片機(jī)貼片精度達(dá) 60um,光學(xué)定位的精度高于機(jī)械定位,但定位時(shí)間稍長(zhǎng)。(一)X-Y 與 Z/· X-Y 定位系統(tǒng)是評(píng)價(jià)貼片機(jī)精度的主要指標(biāo),它包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和伺服系統(tǒng);貼片速度的提高意味著 X-Y 傳動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)行速度的提高而發(fā)熱,而滾珠絲桿是主要的熱源,其熱量的變化會(huì)影響貼裝精度,最新研制的 X-Y 傳動(dòng)系統(tǒng)在導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)有冷卻系統(tǒng);在高速機(jī)中采用無(wú)磨擦線(xiàn)性馬達(dá)和空氣軸承導(dǎo)軌傳動(dòng),運(yùn)行速度做得更快。西門(mén)子貼片機(jī)采用同步帶-

2、直線(xiàn)軸承驅(qū)動(dòng),該系統(tǒng)運(yùn)行噪聲低,工作環(huán)境好。X-Y 伺服系統(tǒng)(定位控制系統(tǒng))由交流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),并在傳感器及控制系統(tǒng)指揮下實(shí)現(xiàn)精確定位,因此傳感器的精度起關(guān)鍵作用。位移傳感器有園光柵編碼器、磁柵尺和光柵尺。2.磁柵尺由磁柵尺和磁頭檢測(cè)電路組成,利用電磁特性和錄磁原理對(duì)位移進(jìn)行測(cè)量。磁柵尺是在非導(dǎo)磁性標(biāo)尺基礎(chǔ)上采用化學(xué)涂覆或電鍍工藝在非磁性標(biāo)尺上沉積一層磁性膜(一般 10~20um)在磁性膜上錄制代表一定年度具有一定波長(zhǎng)的方波或正弦波磁軌

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