半導體材料測試數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)的設計與實現(xiàn).pdf

1、SMARTF和FAB3系統(tǒng)為全球半導體制造商提供了一整套自動化生產(chǎn)管理的解決方案。為了提高生產(chǎn)自動化，國內外大型半導體材料制造商的生產(chǎn)流水線均采用根據(jù)產(chǎn)線具體情況定制的MES系統(tǒng)來對生產(chǎn)進行管理。而在生產(chǎn)過程中，對所生產(chǎn)的半導體材料批次進行測試，是把控生產(chǎn)情況的關鍵。本文針對實際半導體材料生產(chǎn)線，采用MES系統(tǒng)結構，重點研究、設計了一種能實時收集、查看關鍵工藝參數(shù)測試數(shù)據(jù)的半導體材料測試數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)的通用實現(xiàn)方案。
　　該方案基于

2、MES系統(tǒng)架構，通過底層FAB3系統(tǒng)實現(xiàn)業(yè)務邏輯處理，采用WebService技術建立了不同系統(tǒng)間的通信，并使用ADO.NET數(shù)據(jù)庫訪問技術對數(shù)據(jù)庫進行操作。根據(jù)產(chǎn)線測試數(shù)據(jù)收集的自動化需求，將測試數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)分為數(shù)據(jù)收集功能模塊，數(shù)據(jù)分析功能模塊以及數(shù)據(jù)查詢顯示功能模塊。在該系統(tǒng)中數(shù)據(jù)收集功能位于Service端，該模塊是通過調用FAB3系統(tǒng)Workflow的方法來實現(xiàn)的，將所收集到的數(shù)據(jù)存儲在多張相關聯(lián)的數(shù)據(jù)表中，為系統(tǒng)提供實時數(shù)據(jù)