半導(dǎo)體設(shè)備和材料變動性系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、半導(dǎo)體生產(chǎn)線中生產(chǎn)的產(chǎn)品種類繁多，如何高質(zhì)量低成本的生產(chǎn)，并能快速交貨等都是半導(dǎo)體生產(chǎn)廠所面臨的巨大挑戰(zhàn)。而如何在大規(guī)模生產(chǎn)中處理多個生產(chǎn)工序之間的復(fù)雜關(guān)系，如何對生產(chǎn)過程進(jìn)行準(zhǔn)確的分析，以及如何控制和優(yōu)化整個生產(chǎn)過程的變動性，則是生產(chǎn)企業(yè)所需面對的首要問題。
　　 本文將工廠物理學(xué)引入到大規(guī)模半導(dǎo)體生產(chǎn)中，從長期的歷史生產(chǎn)數(shù)據(jù)中識別瓶頸站點，并根據(jù)里特定律計算和建立各站點的目標(biāo)庫存以優(yōu)化生產(chǎn)系統(tǒng)的靜態(tài)配置。同時更為重要的是為半

2、導(dǎo)體設(shè)備的利用率引入了變動性概念，并建立系統(tǒng)來實時監(jiān)測和評價設(shè)備利用率的變動性。同時建立起一套自動化系統(tǒng)將數(shù)據(jù)分析結(jié)果與工廠創(chuàng)新小組的持續(xù)改進(jìn)項目結(jié)合起來，實現(xiàn)了數(shù)據(jù)導(dǎo)向的持續(xù)改進(jìn)和精確維護(hù)理論體系，以不斷降低設(shè)備利用率的變動性(即降低變異系數(shù))，最后通過數(shù)據(jù)庫設(shè)計、瀏覽器/服務(wù)器架構(gòu)的軟件設(shè)計與開發(fā)，實現(xiàn)了自動化的生產(chǎn)系統(tǒng)變異性評估及改善建議系統(tǒng)。長期的時間驗證，在該系統(tǒng)的幫助下，生產(chǎn)周期和設(shè)備利用率的變動性(變異系數(shù))在得到了顯著的