大行程精密定位平臺偏擺誤差分析及補償方法研究.pdf

1、大行程精密定位平臺系統(tǒng)在近代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學研究領(lǐng)域占有重要地位,隨著科學技術(shù)的不斷發(fā)展,對平臺定位精度的要求也越來越高。為滿足納米光刻、超精密加工和微電子工程等新興領(lǐng)域?qū)ο嚓P(guān)設(shè)備高精度定位的要求,本課題針對直線電機驅(qū)動、氣浮導軌支撐和導向的大行程精密定位平臺,從分析其偏擺誤差入手,研究偏擺誤差對定位精度的影響及相應補償方法。
　　本文首先針對大行程精密定位平臺偏擺誤差的導致因素進行理論分析,建立相關(guān)誤差模型?；跉飧к壔瑝K副

2、簡化的彈簧質(zhì)量阻尼系統(tǒng),建立精密定位平臺兩自由度的偏擺振動模型,計算系統(tǒng)的固有頻率,并對偏擺誤差幅值進行研究,根據(jù)以上結(jié)果提出偏擺誤差檢測系統(tǒng)和微動誤差補償系統(tǒng)的指標要求。分析大行程精密定位平臺偏擺誤差的特點,設(shè)計一種結(jié)合平尺和微位移傳感器的高頻響、非接觸式的偏擺誤差檢測系統(tǒng),建立檢測算法模型,為誤差的實時補償提供理論基礎(chǔ)。設(shè)計一種基于壓電陶瓷驅(qū)動,橢圓形放大機構(gòu)和柔性鉸鏈傳動的微動誤差補償平臺。利用理論力學原理,結(jié)合有限元分析方法對微