基于CCOS小磨頭拋光石英玻璃表面質(zhì)量的評價與預(yù)測模型研究.pdf

1、隨著經(jīng)濟(jì)社會的發(fā)展，高精度、高質(zhì)量的光學(xué)元件越來越受到關(guān)注，其在航空航天、國防事業(yè)、空間戰(zhàn)略以及信息產(chǎn)業(yè)等方面的應(yīng)用變的越來越廣泛。要想得到高精度、高質(zhì)量的光學(xué)元件當(dāng)然離不開先進(jìn)、科學(xué)的加工方法，本文中使用的基于CCOS小磨頭拋光技術(shù)，與傳統(tǒng)的加工方法比較，計算機(jī)控制小磨頭拋光技術(shù)對工件面形有著更加準(zhǔn)確的判斷，對拋光過程有著更加可靠的控制。除此之外，好的表面質(zhì)量測量評價方法，以及拋光工藝參數(shù)與表面加工質(zhì)量的映射關(guān)系預(yù)測模型對指導(dǎo)拋光過程

2、，獲得高精度、高質(zhì)量的學(xué)元件也具有重大意義。
　　本文探索了一種新的表征方法來評價石英玻璃表面質(zhì)量，用小波分析方法提取石英玻璃表面輪廓中的深谷損傷，并針對其深谷損傷特征，新定義一種參數(shù)對其損傷情況進(jìn)行評價，得到其損傷程度曲線，非常形象有效地評價其深谷損傷情況，作為傳統(tǒng)粗糙度表征方法的補(bǔ)充，使石英玻璃表面質(zhì)量的評價更加全面準(zhǔn)確。計算機(jī)控制小磨頭光學(xué)石英玻璃拋光實驗采用的是行星運(yùn)動形式，進(jìn)行了三因素四水平的正交試驗,文中影響因素主要考

3、慮了拋光壓力、工具轉(zhuǎn)速、偏心比等加工參數(shù)。實驗數(shù)據(jù)處理時，首先，通過田口法以及方差分析法評價了各因素影響計算機(jī)控制小磨頭拋光表面粗糙度的程度大小和多個影響因素共同作用下的變化規(guī)律，并初步得到其在一定范圍內(nèi)的最優(yōu)拋光參數(shù)組合；然后，根據(jù)試驗數(shù)據(jù)利用BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)建立了基于CCOS小磨頭拋光石英玻璃表面粗糙度的預(yù)測模型，同時建立了非線性回歸粗糙度預(yù)測模型，通過對這兩種預(yù)測模型進(jìn)行泛化誤差和相對誤差的對比分析，發(fā)現(xiàn)BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型在預(yù)測這類問題