石英晶片表面在線檢測算法研究.pdf

1、隨著工業(yè)水平的不斷提高，工業(yè)生產(chǎn)設備已從人工操作設備向全自動、半自動機器設備轉(zhuǎn)變?；跈C器視覺的智能檢測類設備逐步代替依靠人眼的各類檢測環(huán)節(jié)，提高檢測精度，增加工業(yè)生產(chǎn)效率。本文以全自動石英晶片外觀分選機項目為例，介紹了機器視覺與數(shù)字圖像處理系統(tǒng)在工業(yè)檢測中的應用，并在前人的基礎上提出更加準確的檢測方案，以適應更多種類晶片的外觀檢測，實現(xiàn)改變依靠人工目檢的生產(chǎn)現(xiàn)狀，提高晶片制造行業(yè)整體的科技水平。
　　 本文將首先從介紹機器視覺

2、檢測技術開始，進而介紹本文例證的石英晶片的生產(chǎn)工序相關信息與缺陷成因、分析，及目前針對于石英晶片外觀檢測技術自動化的現(xiàn)狀，提出本項目的要求和預期。然后著重介紹了本項目研制的石英晶片外觀分選機的四大模塊組成，從外觀到算法整體描述了該機的設計方案。創(chuàng)造性的根據(jù)晶片外觀的種類以及客觀物理量與圖像的聯(lián)系對算法進行分類，并實現(xiàn)對分類環(huán)節(jié)的自動標定。從宏觀角度分析缺陷的矢量描述與定量模式識別之間的聯(lián)系，驗證圖像分析中的缺陷認知以及該認知對應于實際物