基于工件施振的超聲ELID復(fù)合加工系統(tǒng)及加工質(zhì)量-效率研究.pdf

1、陶瓷材料具有高硬度，耐磨性好，耐高壓力，耐高溫，化學(xué)性能比較穩(wěn)定的特點(diǎn)。因此，陶瓷材料被廣泛應(yīng)用到工業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域，而陶瓷材料的鏡面高效加工技術(shù)是發(fā)展國(guó)防尖端技術(shù)的重要手段，對(duì)發(fā)展航空航天、國(guó)防軍工、信息、微電子與光電子等尖端科學(xué)技術(shù)具有重要的意義。
　　本文將超聲振動(dòng)磨削的精密高效與ELID磨削的超精密技術(shù)相復(fù)合，擬研究使其成為一種高效鏡面加工的必要條件及可能性。論文通過(guò)ANSYS仿真分析研究了變幅桿節(jié)點(diǎn)位置的選取方法，建立了聲學(xué)

2、系統(tǒng)穩(wěn)定性阻抗匹配方程。通過(guò)對(duì)超聲ELID復(fù)合磨削機(jī)理的研究，建立了超聲ELID復(fù)合磨削之磨削力模型，基于壓痕斷裂力學(xué)，建立了材料的去除率模型。試驗(yàn)表明超聲ELID復(fù)合磨削提高了材料去除率，超聲ELID復(fù)合磨削條件下磨削力隨磨削深度的增加而增加，且超聲下磨削的磨削力并非總是小于ELID磨削時(shí)的磨削力。通過(guò)試驗(yàn)驗(yàn)證了超聲施加到工件上，工件振動(dòng)時(shí)對(duì)砂輪表面產(chǎn)生的氧化膜的影響并不顯著，即超聲對(duì)氧化膜的生成影響不大。本文研究了不同磨削參數(shù)和電參