硅片臺系統(tǒng)動力學與控制聯(lián)合仿真.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、步進掃描投影式光刻機是當今世界 IC制造領域最重要最高端的設備之一,而硅片臺則是光刻機的核心單元之一。硅片臺系統(tǒng)的高速運動、以及達到納米級的定位精度和同步運動精度,對其系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性提出了非常嚴苛的要求,因此對硅片臺系統(tǒng)進行動力學性能分析具有十分重要的意義。
　　首先,在分析介紹硅片臺的結構和工作原理的基礎上,討論了硅片臺系統(tǒng)的各種運動機構及其連接關系的建模處理,在ADAMS軟件中建立了硅片臺系統(tǒng)的動力學模型;然后,根據(jù)硅片

2、臺系統(tǒng)步進掃描曝光和調焦調平的功能需求,規(guī)劃了硅片臺的運動軌跡。為實現(xiàn)硅片臺系統(tǒng)的快速、平穩(wěn)、精確的定位,確定了一種包含位置環(huán)和速度環(huán)的雙環(huán)PID控制系統(tǒng)。針對硅片臺系統(tǒng)運動自由度與控制變量較多、運動精度高、運動軌跡比較復雜的特點,選擇在 Matlab/Simulink中建立其運動控制系統(tǒng);最后,通過 ADAMS和Matlab/Simulink的軟件接口結合硅片臺的動力學模型和控制系統(tǒng)模型,建立了硅片臺的聯(lián)合仿真模型。
　　聯(lián)合仿

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