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文檔簡介
1、電力電子器件是電力電子技術(shù)的基礎(chǔ)和使其發(fā)展的強大動力,每一種新型電力電子系統(tǒng)的誕生都是以一代新功率器件的問世為契機。IGBT(絕緣柵雙極晶體管)作為第三代電力電子的產(chǎn)品的推出為新一代電力電子系統(tǒng)的誕生奠定了堅實的基礎(chǔ)。在高壓IGBT研究領(lǐng)域,我國和國外差距很大,究其因在于核心技術(shù)等都被國外大公司所掌握。在02專項的牽引下,進(jìn)行4500V IGBT的研制,文中主要是圍繞著該工作進(jìn)行闡述。
1、首先分析影響器件擊穿電壓的幾個主要因
2、素,包括:平面工藝PN結(jié)擴散終端、界面電荷和分凝系數(shù)。同時,根據(jù)國內(nèi)現(xiàn)有工藝生產(chǎn)的實際特點,決定采用場板和場限環(huán)組合的保護技術(shù)作為設(shè)計的基本框架。其次,借助仿真器,根據(jù)器件整體設(shè)計要求,確定終端結(jié)構(gòu)的一些基本參數(shù)(環(huán)間距、環(huán)寬度、場氧化層厚度、襯底濃度等),在確定基本參數(shù)情況下,從電壓和電場分布上對該結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化。利用定點優(yōu)化的方法,通過對比分析,確定最終的參數(shù),所設(shè)計終端結(jié)構(gòu)的模擬結(jié)果達(dá)到5862V。
2、通過工藝設(shè)計、結(jié)構(gòu)
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