取樣光柵制作過(guò)程中的鉻掩模占寬比測(cè)量技術(shù)研究.pdf

1、本文圍繞取樣光柵制作過(guò)程中的鉻掩模占寬比測(cè)量展開(kāi)了理論研究和實(shí)驗(yàn)研究。
　　 取樣光柵要求1級(jí)平均衍射效率0.1％-0.3％，衍射效率RMS小于5％。取樣光柵光刻膠掩模制作過(guò)程中，曝光量和周期的不均勻?qū)е嘛@影后掩模占寬比的不均勻分布，這種占寬比的不均勻分布使刻蝕后的取樣光柵1級(jí)衍射效率呈現(xiàn)不均勻性。提出以鉻掩模代替光刻膠掩模制作均勻衍射效率取樣光柵的方法，通過(guò)測(cè)量掩模占寬比分布，確定一個(gè)合適的刻蝕深度，使取樣光柵的平均衍射效率及

2、衍射效率RMS達(dá)到要求。
　　 本文以嚴(yán)格耦合波方法為理論基礎(chǔ)，研究了光柵結(jié)構(gòu)對(duì)鉻掩模及取樣光柵衍射效率的影響。通過(guò)測(cè)量鉻掩模0級(jí)衍射效率推算鉻掩模的占寬比分布；由鉻掩模的占寬比分布計(jì)算一定刻蝕深度下的取樣光柵1級(jí)平均衍射效率及衍射效率均勻性，可以為制作均勻效率的取樣光柵的下一步制作提供刻蝕參數(shù)。以TE入射和圓錐入射分別計(jì)算取樣光柵的衍射效率，兩者的差別不大，可以使用TE入射計(jì)算取樣光柵的衍射效率簡(jiǎn)化計(jì)算。
　　 實(shí)驗(yàn)制

3、作了一批鉻光柵并測(cè)量衍射效率，分別以矩形模型和梯形模型計(jì)算了占寬比，矩形模型計(jì)算得到的占寬比與SEM結(jié)果存在一定誤差，分析了誤差來(lái)源，接近實(shí)際槽形的梯形模型計(jì)算結(jié)果與SEM結(jié)果能夠較好符合。
　　 建立了衍射效率測(cè)量系統(tǒng)，并編寫(xiě)了測(cè)量控制程序。測(cè)量了掩模占寬比并由占寬比模擬濕法均勻刻蝕下取樣光柵的衍射效率分布；濕法刻蝕后測(cè)量了取樣光柵1級(jí)衍射效率分布，測(cè)量結(jié)果與由掩模占寬比的模擬結(jié)果有一定的對(duì)應(yīng)性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明以鉻掩模制作均勻衍