TiNx-Ag-TiNx低輻射膜的制備及性能研究.pdf

1、建筑門窗的能耗約占到建筑物全部熱損失的50％，因此減少玻璃窗的熱損失對建筑節(jié)能具有非常重要的意義。由于低輻射玻璃比較高的可見光透過率，能保證室內(nèi)有良好的采光，其對遠(yuǎn)紅外也有很好的反射率，有很的節(jié)能效果，可以有效地減少采暖和空調(diào)費(fèi)用，因此低輻射玻璃得到了越來越廣泛的應(yīng)用。
　　 銀系低輻射玻璃通常將TiO2、SnO2等氧化物作為介質(zhì)膜，所以很難避免Ag膜被氧化，且不能對Ag起到好的保護(hù)作用。由于氮化鈦薄膜具有良好的可見光透過率、化

2、學(xué)穩(wěn)定性和一定的遠(yuǎn)紅外反射率。本實(shí)驗(yàn)將其用作低輻射膜的介質(zhì)膜，研究其光學(xué)性能和耐腐蝕性能。
　　 本課題以銀靶和鈦靶為靶材，N2為反應(yīng)氣體，Ar氣為工作氣體。采用射頻磁控濺射法在玻璃基片上沉積TiNx/Ag/TiNx薄膜。運(yùn)用X射線衍射儀（XRD）、X射線光電子能譜（XPS）、場發(fā)射描掃顯微鏡（SEM）、四探針電阻儀、紫外/可見/近紅外分光光度計(jì)、臺(tái)階儀、傅里葉紅外光譜儀等手段對制備的薄膜樣品進(jìn)行測試和分析。
　　 研究

3、表明，氮化鈦薄膜呈非晶態(tài)，外層TiNx薄膜表面存在著較多的Ti-O鍵，對低輻射膜的可見光透過率有提高作用。低輻射膜的可見光透過率隨著Ag膜的增厚先增加后降低，隨著氮?dú)饬髁康脑黾佣黾?，隨著TiNx薄膜的濺射功率的增加先增加后降低；隨著內(nèi)層和外層TiNx薄膜厚度的增加，低輻射膜的透射峰發(fā)生紅移但都對峰值影響不大。
　　 隨著厚度的增加，外層TiNx薄膜越來越致密。當(dāng)厚度達(dá)到32nm時(shí)，對H2S氣體、NaOH溶液和NaCl溶液的腐蝕