夾具對石英晶體電參數(shù)測試精度的影響.pdf

1、在高頻石英晶體生產(chǎn)過程中，要求測試儀在高頻條件下精確穩(wěn)定地測量石英晶體的等效電參數(shù)。目前使用的直接幅值相位傳輸法只能測量電路的輸入端到輸出端的互阻抗，在高頻條件下由于電路元件阻抗特性會發(fā)生變化，將導致測量信息不全面。而網(wǎng)絡(luò)分析法將石英晶體等效為一個兩端口網(wǎng)絡(luò)，以電磁波的形式描述傳輸信號，分別研究輸入、輸出端的反射特性，和輸入端到輸出端的正向逆向傳輸特性，可以更加全面的測量石英晶體測試電路的信息。
　　本文以石英晶體在串聯(lián)諧振頻率附

2、近的兩端口等效電路為基礎(chǔ)，應(yīng)用兩端口網(wǎng)絡(luò)分析原理及散射參數(shù)（S參數(shù)）與導納、阻抗的轉(zhuǎn)換關(guān)系，研究了石英晶體等效電參數(shù)的具體測量方法。網(wǎng)絡(luò)分析法測量石英晶體等效電參數(shù)時，夾具是非常重要的組成部分，本研究中采用π網(wǎng)絡(luò)電路作為測量夾具，它既可以解決測試接口失配問題，又可以完成輸入輸出阻抗匹配功能，提高了輸入輸出端口對稱性，改善了測試電路性能。然而夾具的分布參數(shù)會引起輸出信號的相位偏移，影響石英晶體等效電參數(shù)的測試精度，因此本文根據(jù)夾具的相關(guān)原

3、理提出測試電路的誤差等效模型，分析不同誤差因素對測試精度的影響，并使用去嵌入方法減小夾具分布參數(shù)對測試精度的影響。
　　兩端口網(wǎng)絡(luò)分析實驗數(shù)據(jù)表明:在全頻率范圍內(nèi)，由于傳輸電纜的電氣特性，測試信號的相位有360°的相位翻轉(zhuǎn)，測量的S參數(shù)可以直觀反應(yīng)測試晶體的頻率特性，能明顯顯示石英晶體反諧振頻率特性，有效避免錯誤測量。此外，根據(jù)測量的S參數(shù)和相應(yīng)的參數(shù)轉(zhuǎn)換關(guān)系，可以精確測量石英晶體π網(wǎng)絡(luò)測試電路的阻抗頻率曲線，再應(yīng)用去嵌入的方法可