鋁合金超精密車(chē)削鏡面形貌建模與散射分析.pdf

1、超精密車(chē)削鏡面廣泛應(yīng)用于激光反射鏡和天文望遠(yuǎn)鏡等尖端領(lǐng)域，其成像質(zhì)量對(duì)于整套系統(tǒng)有著重要的影響。光學(xué)散射廣泛存在于超精密加工的表面，對(duì)于鏡面的成像效果有著顯著的影響。因此研究影響光學(xué)成像效果的參數(shù)，找出降低散射、提高成像質(zhì)量的方法有很重要的理論價(jià)值和實(shí)際意義。本文正是基于這樣的目標(biāo)，開(kāi)展了相關(guān)的理論與工藝研究。
　　首先，本文結(jié)合刀具軌跡分析和二維形貌建模理論，提出在沒(méi)有振動(dòng)和有振動(dòng)兩種情形下，基于最小切削厚度的三維形貌預(yù)測(cè)模型。

2、通過(guò)原子力顯微鏡的測(cè)量結(jié)果，對(duì)該模型進(jìn)行了驗(yàn)證。開(kāi)發(fā)仿真軟件并對(duì)振動(dòng)進(jìn)行研究，其結(jié)果揭示出振動(dòng)對(duì)表面形貌和表面粗糙度影響的特點(diǎn)。此外，對(duì)加工工件的三維形貌進(jìn)行功率譜分析，得出低散射鏡面，其功率譜分布集中且數(shù)值較大的結(jié)論。
　　其次，依據(jù)傅里葉光學(xué)理論對(duì)散射現(xiàn)象進(jìn)行建模與分析。利用麥克斯韋方程組分析了光在金屬表面反射的特點(diǎn)，并對(duì)不同材料進(jìn)行對(duì)比，得出鋁合金適合作為鏡面加工材料的結(jié)論。同時(shí)通過(guò)計(jì)算鏡向光的光屏分布函數(shù)，得到影響鏡向光強(qiáng)