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文檔簡介
1、基于環(huán)境監(jiān)測、機(jī)場安檢、戰(zhàn)場分析等條件下對便攜式物質(zhì)分析儀器的迫切需求，該芯片正如上述的實際情況所需要的那樣，具有微型化、高分辨率、便攜式、實時監(jiān)測、靈敏度高、功耗小等優(yōu)點,受到各國研究機(jī)構(gòu)的青睞。本文介紹了FAIMS傳感器工作原理，設(shè)計了FAIMS傳感器芯片，離子與載氣分子的相互作用模型，對采用MEMS工藝加工FAIMS芯片敏感頭進(jìn)行了工藝設(shè)計與制作。
首先從離子遷移率的理論的介紹引出低場離子遷移率和高場遷移率的介紹。利用離
2、子與載氣分子的相互作用模型的建立，進(jìn)而提出了FAIMS遷移管的工作原理，分析基于MEMS技術(shù)的FAIMS芯片的優(yōu)勢。
然后通過對基于MEMS的集成式FAIMS芯片的系統(tǒng)的了解，對FAIMS平板遷移區(qū)設(shè)計的分析，設(shè)計出FAIMS遷移管的尺寸，提出了基于MEMS的集成式FAIMS芯片設(shè)計方案。通過對離子遷移率的理論推導(dǎo)以及離子與載氣分子的相互作用模型的建立，進(jìn)而提出了FAIMS遷移管的工作原理，分析了基于MEMS技術(shù)的FAIMS芯
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