多重牽引分子泵的性能測(cè)試及其應(yīng)用.pdf_第1頁(yè)
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1、該文在深入分析牽引泵工作原理的基礎(chǔ)上,對(duì)該泵的主要技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行了測(cè)試,并對(duì)該泵在各種真空領(lǐng)域中的應(yīng)用前景進(jìn)行了分析.其中,著重分析了牽引泵在稀土永磁材料真空熔煉爐中的應(yīng)用,并成功進(jìn)行了工業(yè)試驗(yàn),取得了抽氣時(shí)間縮短50﹪,能耗降低97﹪,熔煉合金質(zhì)量顯著提高等優(yōu)異成績(jī).該課題的研究表明牽引泵不僅具有優(yōu)良的高真空性能,而且,還具有十分誘人的中真空性能:最高入口壓強(qiáng)達(dá)300Pa,20Pa時(shí)抽速已與羅茨泵相當(dāng),低于1Pa時(shí),抽速比羅茨泵高出5倍

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