低壓電子鋁箔高效軋制工藝的研究.pdf

1、隨著電子工業(yè)的快速發(fā)展，客戶對低壓電子鋁箔的要求也越來越大，市場競爭也更加激烈，鋁箔加工面臨著生產成本高、生產效率低的問題，如何利用現(xiàn)有設備，在保證質量的基礎上，提高電子鋁箔的生產效率是一個既有研究價值又有實際應用指導意義的課題。本文對不同加工工藝軋制的低壓電子鋁箔進行了研究，用NT9100表面輪廓儀、iXRD型殘余應力測試儀及ZEISS型掃描電子顯微鏡(SEM)對電子鋁箔性能進行了分析，論文的主要研究內容和成果包括:
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2、1)應用高精度表面輪廓儀，改進了蝕坑法，獲得了一種低壓電子鋁箔位錯密度的檢測方法;
　　 (2)進行了不同道次加工量下低壓電子鋁箔軋制試驗，研究了道次加工量對低壓電子鋁箔表面形貌和位錯密度的影響。研究表明:隨著道次加工量的增大，當?shù)来蔚募庸ち吭?3％左右時，軋輥對電子鋁箔的碾壓作用增強，電子鋁箔的表面粗糙度降低，電子鋁箔變形均勻，位錯密度增加，有利于腐蝕化孔的形成;
　　 (3)采用不同張力進行低壓電子鋁箔軋制試驗，研究

3、了張力對低壓電子鋁箔的殘余應力、表面形貌、位錯密度、腐蝕化孔的影響。研究表明:當?shù)?道次的前張力由7.5kN降低到5.5kN，第10道次的后張力由7kN降低到5kN時，電子鋁箔的變形抗力增大，變形均勻，電子鋁箔的厚差變小了0.5個百分點，殘余應力分布更加均勻，表面形貌差異很小，位錯密度增加，腐蝕化孔更加細密均勻，有利于提高比電容;
　　 (4)進行了不同速度下低壓電子鋁箔軋制試驗，研究了速度對低壓電子鋁箔殘余應力、表面形貌、位錯

4、密度的影響。研究表明:當?shù)?道次和第9道次的軋制速度由10m/s提高到13m/s時，軋輥對鋁箔的碾壓作用下降，軋制電子鋁箔的壓力減小，殘余應力降低，表面粗糙度略微升高，鋁箔的溫度升高，位錯的動態(tài)回復作用增強，位錯密度略微降低;
　　 (5)進行了工藝綜合試驗，分析了多參數(shù)組合對電子鋁箔的殘余應力、表面形貌、位錯密度、腐蝕化孔以及比電容的影響。結果表明:低壓電子鋁箔的軋制工藝由10道次改為9道次，第8道次的前張力由7.5kN降低到