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文檔簡介
1、隨著人類社會和科學技術(shù)的不斷進步，人們對于機械系統(tǒng)的要求也越來越高，一般的機械系統(tǒng)已經(jīng)無法滿足人類的需求。這就要求機械系統(tǒng)向小型化微型化方向發(fā)展。微電子機械系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)以其自身的體積小、重量輕、功耗低、速度快、靈敏度高等優(yōu)點受到世界各國的青睞，被迅速而廣泛地應(yīng)用于航空航天、軍事、生物醫(yī)學、信息、自動控制等領(lǐng)域。但是微電子機械系統(tǒng)卻并沒有如當初想象般地快速發(fā)展。由微結(jié)構(gòu)
2、特殊的結(jié)構(gòu)特征而引起的系統(tǒng)可靠性和穩(wěn)定性問題成為制約它迅速發(fā)展的一個“瓶頸”，因此對微結(jié)構(gòu)動力學特性的研究顯的尤為迫切和重要。當材料的本征長度與結(jié)構(gòu)尺寸很接近時，金屬材料的力學性能呈現(xiàn)出很強的尺寸效應(yīng)并且空氣阻力的作用也變得無法忽視，所以尺寸效應(yīng)和空氣阻尼已經(jīng)成為了對微電子機械系統(tǒng)動力學特性產(chǎn)生巨大影響的因素。經(jīng)典的連續(xù)介質(zhì)理論已經(jīng)無法解釋這些現(xiàn)象。由于經(jīng)典彈性力學和動力學理論的局限性，無法解決微結(jié)構(gòu)系統(tǒng)動力學的問題，所以系統(tǒng)部件的動力
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