基于波前相差檢測(cè)的193nm激光單脈沖能量測(cè)量方法的研究.pdf

1、激光在我國(guó)農(nóng)業(yè)、工業(yè)、國(guó)防等領(lǐng)域內(nèi)有著非常重要的作用。隨著激光技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)激光能量測(cè)量精度的要求也越來(lái)越嚴(yán)格。我國(guó)目前準(zhǔn)備研制的193nm光刻系統(tǒng)中對(duì)于其工作線寬要求實(shí)現(xiàn)90nm以下，對(duì)于其檢測(cè)儀器就提出了更高的要求，尤其是在對(duì)光源的能量檢測(cè)上尤為重要。
　　本文通過(guò)對(duì)目前國(guó)內(nèi)外激光能量測(cè)量、波形測(cè)量以及相位探測(cè)方法等進(jìn)行了分析比對(duì)，指出了它們的優(yōu)缺點(diǎn)。針對(duì)193nm激光能量測(cè)量提出了一種基于波前相差檢測(cè)的精確測(cè)量方法，通過(guò)

2、大量的理論分析與研究，驗(yàn)證了該方法的可行性，并且同時(shí)指出了利用本方法進(jìn)行測(cè)量時(shí)的影響最終能量測(cè)量的誤差因素。
　　本論文的主要工作主要包括:通過(guò)對(duì)相關(guān)文獻(xiàn)的查閱，總結(jié)了目前單脈沖能量測(cè)量的方法，并且對(duì)其進(jìn)行了比對(duì)分析，指出通過(guò)傳統(tǒng)的能量測(cè)量方法是不能夠達(dá)到精確測(cè)量193nm激光單脈沖能量，因此需要探索一種高精度測(cè)量激光脈沖能量的方法，也就是本文提出的基于波前相差檢測(cè)的方法進(jìn)行激光脈沖能量的測(cè)量。與此同時(shí)，本人積極的與相關(guān)公司技術(shù)人