2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩66頁未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、光刻膠是在制造超大規(guī)模集成電路(ULSI)的光刻工藝所需的關(guān)鍵材料,目前世界研究的熱點(diǎn)是在硅片上刻蝕幾十納米高分辨率的193nm光刻膠。英特爾已成功將193nm光刻膠應(yīng)用于浸沒式光刻機(jī)作為光刻設(shè)備主流,而我國193nm光刻膠技術(shù)還不算成熟,存在裂縫、表面粗糙和非曝光區(qū)膠膜部分溶解所造成的膠膜溶脹問題,因此開發(fā)和合成新型高效193nm光刻膠酸敏單體具有重要理論意義和應(yīng)用價(jià)值。
  甲基丙烯酸金剛烷酯類化合物廣泛應(yīng)用于193nm光刻膠

2、主體樹脂和酸敏單體結(jié)構(gòu)中,我合成了四個(gè)新型的193nm光刻膠酸敏單體,即甲基丙烯酸(2-甲氧甲基-2-金剛烷)酯、甲基丙烯酸(2-乙氧甲基-2-金剛烷)酯、甲基丙烯酸(2-丙氧甲基-2-金剛烷)酯、甲基丙烯酸(2-異丙氧甲基-2-金剛烷)酯,總收率分別為60%、50%、35%、20%,制備的化合物純度均大于96%,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)經(jīng)1HNMR、IR、MS表征。對上述酸敏單體進(jìn)行了酸解速率常數(shù)測試,酸解速率最高的酸敏單體是甲基丙烯酸(2-甲氧甲基

3、-2-金剛烷)酯,酸解速率常數(shù)k為-11.04,是目前正在應(yīng)用的甲基丙烯酸(2-甲基-2-金剛烷)酯的7.3倍。從實(shí)驗(yàn)結(jié)果得到,甲基丙烯酸(2-甲氧甲基-2-金剛烷)酯的制備收率、酸解速率是最好的。
  對甲基丙烯酸(2-甲氧甲基-2-金剛烷)酯合成工藝的溶劑、反應(yīng)物配比、反應(yīng)溫度、反應(yīng)時(shí)間、催化劑及加料方式等影響因素進(jìn)行了考察。另外探討了另一種合成甲基丙烯酸(2-甲氧甲基-2-金剛烷)酯的方法,即以二甲基亞砜為原料合成三甲基硫氧

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論