基于交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的畸變空間像計算方法研究.pdf

1、建立快速準確的空間像模型在計算光刻領域中占有重要地位，是逆光刻掩模優(yōu)化等逆向求解問題的基礎。為了達到快速計算的要求，現(xiàn)有的波像差檢測技術或逆光刻技術通過近似畸變空間像，只提取波像差線性項影響進行反演擬合。隨著檢測精度要求的不斷提高，只考慮波像差對空間像的線性影響已經(jīng)無法滿足發(fā)展需要，計算仿真二階或更高階波像差耦合項引入的畸變空間像成為急于解決的問題。因此本學位論文發(fā)展了基于交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的畸變空間像模型，可作為計算光刻中正向仿真模型，并能

2、夠快速計算波像差引入的畸變空間像。
　　 基于Hopkins 成像原理建立了交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的快速算法，將頻域中復雜的積分運算轉(zhuǎn)化成為空域中的乘積運算。采用隔點抽樣平均的方法實現(xiàn)高分辨率光源下的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)計算。利用MATLAB 計算軟件的仿真實驗驗證了交叉?zhèn)鬟f函數(shù)的可行性。
　　 研究了精確的空間像計算方法，推導了二元掩模的頻譜計算方法。利用完整的交叉?zhèn)鬟f函數(shù)，直接得到空間像頻譜表達，利用矩陣運算性質(zhì)計算空間像光強。

3、>　　 MATLAB 計算結果與商業(yè)軟件PROLITH 仿真結果比較，誤差在10-4 數(shù)量級，驗證了模型正確性和有效性。
　　 引入了三階互相關的概念，應用其數(shù)學性質(zhì)，發(fā)展了波像差引入的畸變空間像模型。畸變空間像可以分解為各級次波像差影響的代數(shù)和，用來快速計算高階波像差耦合影響。利用畸變空間像的對稱性質(zhì)，進一步簡化計算，優(yōu)化算法。MATLAB的模擬仿真，進一步驗證了波像差引入的畸變空間像的可行性。
　　 波像差引入的畸