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文檔簡介
1、SIPOS(semi-insulating polycrystalline silicon)半絕緣多晶硅薄膜在半導(dǎo)體器件特別是一些高壓器件的鈍化中有著廣泛的應(yīng)用。由于二氧化硅中有固定正電荷,難于制造高壓平面器件,SIPOS薄膜具有電中性和半絕緣性,彌補了二氧化硅的不足,從根本上改變了二氧化硅的鈍化效果,其不僅能夠提升器件的反向擊穿電壓,而且也極大地提高了器件的可靠性。SIPOS薄膜鈍化工藝的研究對半導(dǎo)體器件的發(fā)展有著及其重要的影響。
2、r> 由于SIPOS薄膜工藝涉及的輸入?yún)?shù)較多,工藝條件存在著一定的波動性,同時參數(shù)之間還會存在交互影響,加上一些干擾因素,要獲得較好的工藝參數(shù)及良好的工藝穩(wěn)定性具有一定的困難,從而導(dǎo)致器件特性出現(xiàn)異常及較高的產(chǎn)品重工率。
本文介紹了半導(dǎo)體器件的主要工藝、沉積SIPOS薄膜的低壓化學(xué)氣相沉積LPCVD(low pressurechemical vapordeposition)系統(tǒng)及沉積的條件,闡述了SIPOS薄膜的器
3、件鈍化機理及工藝過程中各參數(shù)對薄膜特性及器件特性的影響。通過研究SIPOS工藝中的各個輸入?yún)?shù),如溫度、真空壓、氣體流量、氣體比例等,篩選出影響SIPOS薄膜工藝的顯著參數(shù),然后對顯著參數(shù)進行試驗設(shè)計DOE(design ofexperiment)分析,通過對試驗數(shù)據(jù)的統(tǒng)計分析及試驗?zāi)P偷耐茖?dǎo),得出相關(guān)工藝參數(shù)與產(chǎn)品電學(xué)性能之間的關(guān)系模型公式,并對工藝參數(shù)進行優(yōu)化設(shè)計。此外,在工藝優(yōu)化的基礎(chǔ)上,提出了高效的工藝穩(wěn)定性控制的方法,并在工程
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