已閱讀1頁，還剩66頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、 在這篇論文里描述了幾種新的光柵制作方法，分別可以用來制作凹面光柵、凸面光柵和周期可變光柵。同步輻射X光束的光強(qiáng)分布是遵循高斯分布的，即中間強(qiáng)，四周弱，利用此性質(zhì)，可以直接對PMMA基板進(jìn)行曝光，顯影后得到凹面，然后在用帶有光柵圖形的掩膜板光刻，即可得到凹面光柵。設(shè)計(jì)了一種由銅薄膜和Kapton薄膜構(gòu)成的簡單X射線光刻掩膜板，這種掩膜不僅制造簡單、成本低，而且可以任意彎曲，將它貼在一個(gè)PMMA圓柱上，光刻后即可在上形成凸面光柵。還設(shè)計(jì)
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 基于微細(xì)電火花加工技術(shù)的微沖壓模具的研制.pdf
- 微細(xì)加工技術(shù)
- 微細(xì)加工技術(shù)概述
- 微細(xì)加工技術(shù)論文
- 水射流微細(xì)加工技術(shù)的研究.pdf
- 32683.基于靜電誘導(dǎo)的微細(xì)加工技術(shù)研究
- 微細(xì)電火花集成加工技術(shù)的研究.pdf
- 脈沖微細(xì)電解加工技術(shù)研究.pdf
- 基于微細(xì)電火花加工技術(shù)的微沖裁模具制作.pdf
- 微細(xì)電解銑削加工技術(shù)的基礎(chǔ)研究.pdf
- 單片OEICs的激光微細(xì)加工技術(shù)研究.pdf
- 微細(xì)群孔電解加工技術(shù)研究.pdf
- 靜電壓微細(xì)電解加工技術(shù)研究.pdf
- 水導(dǎo)激光微細(xì)加工技術(shù)研究.pdf
- 先進(jìn)制造—微細(xì)電火花加工技術(shù)
- 基于微細(xì)球頭狀電極的微小孔電解加工技術(shù)研究.pdf
- 微細(xì)電解銑槽加工技術(shù)研究.pdf
- 微細(xì)電火花加工裝置及銑削加工技術(shù)的研究.pdf
- 微小零件微細(xì)電加工技術(shù)的研究.pdf
- 氣中微細(xì)電火花加工技術(shù)工藝研究.pdf
評論
0/150
提交評論