四探針測試系統(tǒng)的研發(fā).pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，計(jì)算機(jī)不斷更新?lián)Q代，存儲(chǔ)容量在不斷的增長，作為其基礎(chǔ)元件的集成電路已由超大規(guī)模（VLSI）向甚大規(guī)模(ULSI)階段發(fā)展。圖形日益微細(xì)化，芯片的特征尺寸不斷縮小，目前IC 制造已經(jīng)達(dá)到了45nm的工藝水平，這一方面要求圓片直徑不斷增大以提高生產(chǎn)率，另一方面對晶體的完美性、機(jī)械及電特性也提出了更為嚴(yán)格的要求。特別是微區(qū)的電學(xué)特性及其均勻性已經(jīng)成為決定將來器件性能優(yōu)劣的關(guān)鍵因素。因此，微區(qū)電阻率的測試成為芯片加工之中

2、的重要工序。為了更好的保證芯片的生產(chǎn)質(zhì)量和最終產(chǎn)品的性能，需要深入開展四探針測試儀器的研究，而恒流源電路是四探針測試儀中重要的一部分。 為此，本文開展了以下研究工作：綜述了四探針技術(shù)的分類以及應(yīng)用范圍；對斜置式方形四探針測試技術(shù)進(jìn)行了研究，利用改進(jìn)的Rymaszewski 法自動(dòng)消除探針縱向游移影響的優(yōu)點(diǎn)，將它應(yīng)用于斜置式方形探針測試法中；在斜置式方形四探針機(jī)械平臺(tái)的基礎(chǔ)上，完成了整個(gè)測試電路的硬件設(shè)計(jì)和軟件編程，研制出一臺(tái)，具有