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文檔簡介
1、本文主要利用電子束蒸發(fā)原位熱處理技術(shù)來研究MgB<,2>超導(dǎo)薄膜的制備工藝和相關(guān)的超導(dǎo)特性,主要包括:襯底的預(yù)處理、多層成膜技術(shù)、組分設(shè)計(jì)、后道熱處理等.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,按Mg:B=1:2的原子比例分層蒸鍍多層[Mg/B]<,N>先驅(qū)膜,然后進(jìn)行原位熱處理可獲得MgB<,2>超導(dǎo)薄膜.薄膜的超導(dǎo)性能隨著制備工藝的優(yōu)化得到了很好的提高,零電阻溫度分別為16.5K、24.5K、30.5K.正常態(tài)電阻率-溫度關(guān)系ρ(T)呈現(xiàn)金屬行為,擬合結(jié)果滿
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