電子束蒸發(fā)制備摻鋁氧化鋅透明導(dǎo)電膜.pdf

1、在常規(guī)能源日益枯竭的今天，開(kāi)發(fā)利用可再生能源已經(jīng)成為各國(guó)的研究熱點(diǎn)。太陽(yáng)能做為一種潔凈的可再生能源具有潔凈、無(wú)污染等特點(diǎn)，因而極具應(yīng)用價(jià)值。 太陽(yáng)電池可以直接將光能轉(zhuǎn)化為電能，是目前利用太陽(yáng)能的主要手段之一。其中晶硅薄膜太陽(yáng)能電池作為第二代太陽(yáng)電池的代表具有廣闊的應(yīng)用前景。晶硅薄膜太陽(yáng)電池中普遍采用透明導(dǎo)電膜作為電極材料。目前常用的透明導(dǎo)電膜有：ITO、SnO<,2>．F、ZnO：Al等。其中ZnO：Al(又稱(chēng)AZO)具有無(wú)毒、

2、無(wú)污染、低成本等特點(diǎn)被視為晶硅薄膜電池理想的電極材料。 在本文中我們圍繞本實(shí)驗(yàn)組多晶硅薄膜太陽(yáng)電池的研究工作，利用電子束蒸發(fā)的方法在普通玻璃襯底上制備了AZO透明導(dǎo)電膜。分析了摻雜量、襯底溫度對(duì)電子束蒸發(fā)制備．AZO薄膜光電性能的影響。并分別利用磁控濺射、電子束蒸發(fā)制備了晶硅薄膜電池背表面的電極。利用掃描電子顯微鏡、X射線(xiàn)衍射、標(biāo)準(zhǔn)四探針、紫外可見(jiàn)光近紅外分光光度計(jì)、I-V特性測(cè)試儀等實(shí)驗(yàn)手段分析了所制備電極材料的表面形貌、結(jié)晶