X-Ray數(shù)字圖像平板探測(cè)器陣列基板的研究.pdf

1、數(shù)字化X-Ray平板圖像探測(cè)器廣泛應(yīng)用于航空宇航、醫(yī)療、無損檢測(cè)等工業(yè)領(lǐng)域，其產(chǎn)品具有品質(zhì)優(yōu)良、數(shù)據(jù)傳輸方便等優(yōu)點(diǎn)而備受青睞。隨著液晶顯示面板產(chǎn)業(yè)非晶硅工藝和大規(guī)模集成電路的發(fā)展，研究數(shù)字X-Ray平板探測(cè)技術(shù)的浪潮洶涌而至，引發(fā)國(guó)內(nèi)著名高校及科研機(jī)構(gòu)學(xué)者專家熱衷于相關(guān)課題的研究。
　　 本文基于目前發(fā)展較為成熟的非晶硅工藝技術(shù)，設(shè)計(jì)了一款應(yīng)用于平板圖像探測(cè)的TFT陣列基板。
　　 文章首先介紹X-Ray成像技術(shù)的發(fā)展歷

2、程、國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀及數(shù)字平板圖像探測(cè)器的優(yōu)點(diǎn)，并在此基礎(chǔ)上分析了X-Ray平板圖像探測(cè)器的工作原理，確定本論文的研究?jī)?nèi)容，即設(shè)計(jì)一款用于數(shù)字化X-Ray平板成像探測(cè)器的大尺寸陣列基板。
　　 隨后對(duì)TFT陣列基板的工藝技術(shù)做了較全面的研究，包括光刻工藝、磁控濺射的鍍膜工藝、等離子化學(xué)氣相淀積(PECVD)工藝以及刻蝕工藝中的干法刻蝕、濕法刻蝕。完善的工藝研究為TFT陣列基板的設(shè)計(jì)奠定了基礎(chǔ)。
　　 TFT陣列基板是整個(gè)設(shè)

3、計(jì)的關(guān)鍵。文章采用產(chǎn)線提取的最精確的薄膜晶體管Spice模型，用SmartSpice仿真軟件對(duì)像素進(jìn)行充電率、I/V特性曲線的模擬。充分分析開態(tài)電流、關(guān)態(tài)電流、跳變電壓及延遲對(duì)面板的影響，進(jìn)而優(yōu)化陣列基板的設(shè)計(jì)。采用專業(yè)的工程制圖軟件Laker繪制Array基板的全部版圖。
　　 最后對(duì)流片的陣列基板的性能進(jìn)行測(cè)試。主要進(jìn)行外觀圖案檢查、掃描電鏡鑒定成膜質(zhì)量、實(shí)測(cè)I/V特性曲線。測(cè)試結(jié)果符合設(shè)計(jì)指標(biāo)，得到了較為理想的TFT陣列基