基于準(zhǔn)分子激光大深寬比微結(jié)構(gòu)加工工藝研究.pdf

1、本文對大深寬比微加工工藝進(jìn)行了研究。工藝采用有機(jī)玻璃為模具，248nm KrF準(zhǔn)分子激光為加工光源，電鑄鎳為微結(jié)構(gòu)層，與傳統(tǒng)MEMS加工工藝相比，具有加工結(jié)構(gòu)深寬比大、無毒、無掩模、易于集成且加工成本低等優(yōu)點(diǎn)。因此該工藝對大深寬比MEMS微結(jié)構(gòu)的研究有著重要的意義。本文的主要工作包括： （1）闡述化學(xué)沉積導(dǎo)電層（犧牲層）的原理，并在傳統(tǒng)化學(xué)沉積的基礎(chǔ)上根據(jù)工藝的要求，作了改進(jìn)，提高了化學(xué)鍍層與基片的結(jié)合度，簡化了工藝步驟。

2、 （2）試驗(yàn)分析比較了有機(jī)玻璃（PMMA）于其他材料，如普通厚光刻膠、UV-LIGA工藝SU-8光刻膠、LIGA工藝PMMA光刻膠、有機(jī)聚合物PI等材料相比作為模具的優(yōu)缺點(diǎn)，選擇有機(jī)玻璃作為加工模具，并對其進(jìn)行材料改性，提高了模具塑性和與基片的結(jié)合力。 （3）通過分析研究準(zhǔn)分子激光加工能量、相對脈沖頻率，熱影響區(qū)等參數(shù)對圖形轉(zhuǎn)移質(zhì)量的影響，通過調(diào)整準(zhǔn)分子激光加工參數(shù)，得到較好的加工圖形。 （4）試驗(yàn)分析了電鑄時，電極