DeltaV系統(tǒng)在半導體廠務系統(tǒng)中的應用分析.pdf

1、當前，現場總線技術已經成為自動化技術發(fā)展的熱點，在產業(yè)化方面已經走向成熟。其中艾默生(Emerson Management)過程管理公司于1996年推出的DeltaV系統(tǒng)應該算是現場總線系統(tǒng)中最為成功的總線系統(tǒng)之一。迄今為止，該系統(tǒng)在全球已經簽訂了上千套供應合同，在業(yè)界受到廣泛的歡迎。然而就半導體業(yè)這個敏感而較為保守的行業(yè)來說，任何材料及設備都需要經過長期的論證評判，才能被業(yè)界所接受。因此業(yè)界仍然持續(xù)沿用舊有系統(tǒng)。唯有在新廠建設時評估這

2、套新的系統(tǒng)并將之付諸實施才是對“DeltaV系統(tǒng)在半導體行業(yè)的廠務系統(tǒng)中是否能得到成功地實施”作出論證的有效途徑。本文正是通過此次大膽嘗試將DeltaV作為新的廠務監(jiān)控系統(tǒng)并予以實施，從而切實論證其是否能符合半導體生產行業(yè)需求，并能在這一領域中發(fā)揮其強大的功能。 目前工控業(yè)界使用較廣泛的DCS主要有：Yokogawa的Stardom， Honeywell的PKS，Siemens的PCS7、Emerson的PROVOX、RS3、D

3、eltaV系統(tǒng)。在以往半導體廠務FMCS系統(tǒng)的應用中較為多見的是PROVOX。廠務控制系統(tǒng)對于半導體廠廠務部門來說可謂是其心臟，它控制了FAB內多種危險性化學品的安全使用。系統(tǒng)的一點小小的差錯可能導致死亡事故或者數百上千萬美金的財產損失，因此構建一個穩(wěn)定而智能的系統(tǒng)對于半導體廠極為重要。在過去多年的建廠案例中，廠務監(jiān)控系統(tǒng)架構均使用PROVOX系統(tǒng)，但該系統(tǒng)存在的缺點比較明顯，尤其在整合其他PLC系統(tǒng)時兼容性不佳，系統(tǒng)不易升級導致新功能

4、無法使用，Spare Parts供應不足且成本較高，發(fā)生問題后Trouble-shooting也較困難。因此尋找一個可以解決現有缺點的替代產品對于半導體廠務系統(tǒng)不斷提升其品質尤為重要。Emerson的Plarlt Web作為新一代DCS，其代表作DeltaV很好提供了解決傳統(tǒng)PROVOX系統(tǒng)之缺點的方案。 本文首先分析了國內外工控界的現狀及半導體行業(yè)對于工控系統(tǒng)的要求。 接著分析了DeltaV系統(tǒng)推出的背景及其本身的特點

5、，比較了其與以往工控軟件的不同之處，說明了其在工控界的領先地位和其基于現場總線的控制系統(tǒng)的特點。隨后，結合對新建半導體廠嘗試使用DeltaV作為廠務監(jiān)控系統(tǒng)架構這一實踐應用的研究，從網絡架構、軟件及硬件的具體實現論證了這種基于現場總線的DCS在半導體行業(yè)的適用性及優(yōu)越性。 最后本文根據基于DeltaV廠務體系特色以及不足之處，增加了對于半導體企業(yè)來說最為關鍵的自動加減機功能及Zero Mo功能，開發(fā)設計了Alarm call o