DeltaV系統(tǒng)在半導(dǎo)體廠務(wù)系統(tǒng)中的應(yīng)用分析.pdf

1、當(dāng)前，現(xiàn)場(chǎng)總線技術(shù)已經(jīng)成為自動(dòng)化技術(shù)發(fā)展的熱點(diǎn)，在產(chǎn)業(yè)化方面已經(jīng)走向成熟。其中艾默生(Emerson Management)過(guò)程管理公司于1996年推出的DeltaV系統(tǒng)應(yīng)該算是現(xiàn)場(chǎng)總線系統(tǒng)中最為成功的總線系統(tǒng)之一。迄今為止，該系統(tǒng)在全球已經(jīng)簽訂了上千套供應(yīng)合同，在業(yè)界受到廣泛的歡迎。然而就半導(dǎo)體業(yè)這個(gè)敏感而較為保守的行業(yè)來(lái)說(shuō)，任何材料及設(shè)備都需要經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的論證評(píng)判，才能被業(yè)界所接受。因此業(yè)界仍然持續(xù)沿用舊有系統(tǒng)。唯有在新廠建設(shè)時(shí)評(píng)估這

2、套新的系統(tǒng)并將之付諸實(shí)施才是對(duì)“DeltaV系統(tǒng)在半導(dǎo)體行業(yè)的廠務(wù)系統(tǒng)中是否能得到成功地實(shí)施”作出論證的有效途徑。本文正是通過(guò)此次大膽嘗試將DeltaV作為新的廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)并予以實(shí)施，從而切實(shí)論證其是否能符合半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)需求，并能在這一領(lǐng)域中發(fā)揮其強(qiáng)大的功能。 目前工控業(yè)界使用較廣泛的DCS主要有：Yokogawa的Stardom， Honeywell的PKS，Siemens的PCS7、Emerson的PROVOX、RS3、D

3、eltaV系統(tǒng)。在以往半導(dǎo)體廠務(wù)FMCS系統(tǒng)的應(yīng)用中較為多見(jiàn)的是PROVOX。廠務(wù)控制系統(tǒng)對(duì)于半導(dǎo)體廠廠務(wù)部門(mén)來(lái)說(shuō)可謂是其心臟，它控制了FAB內(nèi)多種危險(xiǎn)性化學(xué)品的安全使用。系統(tǒng)的一點(diǎn)小小的差錯(cuò)可能導(dǎo)致死亡事故或者數(shù)百上千萬(wàn)美金的財(cái)產(chǎn)損失，因此構(gòu)建一個(gè)穩(wěn)定而智能的系統(tǒng)對(duì)于半導(dǎo)體廠極為重要。在過(guò)去多年的建廠案例中，廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)架構(gòu)均使用PROVOX系統(tǒng)，但該系統(tǒng)存在的缺點(diǎn)比較明顯，尤其在整合其他PLC系統(tǒng)時(shí)兼容性不佳，系統(tǒng)不易升級(jí)導(dǎo)致新功能

4、無(wú)法使用，Spare Parts供應(yīng)不足且成本較高，發(fā)生問(wèn)題后Trouble-shooting也較困難。因此尋找一個(gè)可以解決現(xiàn)有缺點(diǎn)的替代產(chǎn)品對(duì)于半導(dǎo)體廠務(wù)系統(tǒng)不斷提升其品質(zhì)尤為重要。Emerson的Plarlt Web作為新一代DCS，其代表作DeltaV很好提供了解決傳統(tǒng)PROVOX系統(tǒng)之缺點(diǎn)的方案。 本文首先分析了國(guó)內(nèi)外工控界的現(xiàn)狀及半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)于工控系統(tǒng)的要求。 接著分析了DeltaV系統(tǒng)推出的背景及其本身的特點(diǎn)

5、，比較了其與以往工控軟件的不同之處，說(shuō)明了其在工控界的領(lǐng)先地位和其基于現(xiàn)場(chǎng)總線的控制系統(tǒng)的特點(diǎn)。隨后，結(jié)合對(duì)新建半導(dǎo)體廠嘗試使用DeltaV作為廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)架構(gòu)這一實(shí)踐應(yīng)用的研究，從網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)、軟件及硬件的具體實(shí)現(xiàn)論證了這種基于現(xiàn)場(chǎng)總線的DCS在半導(dǎo)體行業(yè)的適用性及優(yōu)越性。 最后本文根據(jù)基于DeltaV廠務(wù)體系特色以及不足之處，增加了對(duì)于半導(dǎo)體企業(yè)來(lái)說(shuō)最為關(guān)鍵的自動(dòng)加減機(jī)功能及Zero Mo功能，開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)了Alarm call o