面向高速高加速度運動伺服系統(tǒng)的自尋優(yōu)模糊控制研究.pdf

1、隨著人們對產(chǎn)品性能、質量、和制造周期等越來越高的要求,則現(xiàn)代化制造設備的高速、高加速度及高精度伺服性能優(yōu)劣就顯得尤其重要.特別在現(xiàn)代高速高精度數(shù)控機床和集成電路制造設備中,高速高加速運動保證了生產(chǎn)效率,而高精度運動確保了制造質量.高速高加速度運動伺服系統(tǒng)是現(xiàn)代化制造設備尤其是集成電路制造設備中的核心技術之一.論文的主要內容包括: (1)采用直線電機直接驅動伺服系統(tǒng)的結構,來滿足高速高加速度運動的需求,并建立高速高加速度運動伺服系統(tǒng)的理論

2、模型,并推導出數(shù)學模型,具有重要的基礎理論意義. (2)分析了現(xiàn)階段各種可行且應用于高速高精度場合的控制策略,并針對直線電機系統(tǒng)比較明顯的非線性、系統(tǒng)參數(shù)攝動、和負載擾動等不確定因素,采用基于遺傳算法優(yōu)化的模糊控制策略,來代替?zhèn)鹘y(tǒng)PID控制. (3)介紹了模糊控制和遺傳算法的基本理論,并設計了模糊控制器,然后將其引入的量化和比例因子問題看作是控制參數(shù)的優(yōu)化問題,著重研究了基于遺傳算法優(yōu)化的自尋優(yōu)模糊控制的設計.