高精度AFM的研制及在機械和小分子結(jié)構(gòu)中的應(yīng)用.pdf_第1頁
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1、重慶大學(xué)博士學(xué)位論文高精度AFM的研制及在機械和小分子結(jié)構(gòu)中的應(yīng)用姓名：韓賢武申請學(xué)位級別：博士專業(yè)：機械設(shè)計及理論指導(dǎo)教師：陳小安20070330重慶大學(xué)博士學(xué)位論文評定更穩(wěn)定，可靠性更高。④研究了AFMIPC208B型機在微細加工中的應(yīng)用：利用它的STM功能通過機械刻蝕的方法在高序定向石墨表面刻蝕出了微米級的線條，線條的寬度約為5um，深度約30um。⑤利用AFMIPC一208B型機測得了W03溶膠摻鉑晶化薄膜、ZnO薄膜和TiN薄

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